光学 精密工程
光學 精密工程
광학 정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2006年
3期
360-367
,共8页
陆振刚%谭久彬%刘永猛%刘俭%张慧
陸振剛%譚久彬%劉永猛%劉儉%張慧
륙진강%담구빈%류영맹%류검%장혜
电磁屏蔽%透明导电膜%衬底%倾斜入射%金属网栅
電磁屏蔽%透明導電膜%襯底%傾斜入射%金屬網柵
전자병폐%투명도전막%츤저%경사입사%금속망책
提出了双层膜系分析方法,该方法采用独立网栅等效薄膜模型,将网栅对衬底干涉的影响引入分析,克服了Kohin方法仅考虑衬底干涉的不精确性,并避免了其分析独立网栅的透波率公式在高频和大入射角时存在的不准确性.用紫外光刻在石英衬底上制备了周期为320 μm,线宽为4.5 μm的网栅,测得S波30°入射时12～18 GHz的屏蔽效率大于16dB,略低于理论值但变化趋势一致,证实了双层膜法的有效性.进而分析衬底影响表明:入射为S波及小于衬底布儒斯特角θB的P波时屏蔽效率降低,而入射为大于θB的P波时屏蔽效率反常增加;屏蔽效率变化最大值随入射角变化;优化衬底厚度可在不影响网栅透光能力的同时获得最佳屏蔽效果.
提齣瞭雙層膜繫分析方法,該方法採用獨立網柵等效薄膜模型,將網柵對襯底榦涉的影響引入分析,剋服瞭Kohin方法僅攷慮襯底榦涉的不精確性,併避免瞭其分析獨立網柵的透波率公式在高頻和大入射角時存在的不準確性.用紫外光刻在石英襯底上製備瞭週期為320 μm,線寬為4.5 μm的網柵,測得S波30°入射時12～18 GHz的屏蔽效率大于16dB,略低于理論值但變化趨勢一緻,證實瞭雙層膜法的有效性.進而分析襯底影響錶明:入射為S波及小于襯底佈儒斯特角θB的P波時屏蔽效率降低,而入射為大于θB的P波時屏蔽效率反常增加;屏蔽效率變化最大值隨入射角變化;優化襯底厚度可在不影響網柵透光能力的同時穫得最佳屏蔽效果.
제출료쌍층막계분석방법,해방법채용독립망책등효박막모형,장망책대츤저간섭적영향인입분석,극복료Kohin방법부고필츤저간섭적불정학성,병피면료기분석독립망책적투파솔공식재고빈화대입사각시존재적불준학성.용자외광각재석영츤저상제비료주기위320 μm,선관위4.5 μm적망책,측득S파30°입사시12～18 GHz적병폐효솔대우16dB,략저우이론치단변화추세일치,증실료쌍층막법적유효성.진이분석츤저영향표명:입사위S파급소우츤저포유사특각θB적P파시병폐효솔강저,이입사위대우θB적P파시병폐효솔반상증가;병폐효솔변화최대치수입사각변화;우화츤저후도가재불영향망책투광능력적동시획득최가병폐효과.
