强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2006年
7期
1095-1098
,共4页
顾春时%王占山%王风丽%张众%穆宝忠%秦树基%陈玲燕
顧春時%王佔山%王風麗%張衆%穆寶忠%秦樹基%陳玲燕
고춘시%왕점산%왕풍려%장음%목보충%진수기%진령연
多层膜%X射线超反射镜%KB型显微镜%磁控溅射%反射
多層膜%X射線超反射鏡%KB型顯微鏡%磁控濺射%反射
다층막%X사선초반사경%KB형현미경%자공천사%반사
介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的光学元件--X射线超反射镜.选用的W和B4C作为镀膜材料,膜对数为20,采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计,用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B4C X射线超反射镜的制备.采用高分辨率X射线衍射仪(8 keV)测量了X射线超反射镜的反射特性.制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处,反射角度带宽为0.3°,反射率达到20%,可满足KB型显微镜的要求.
介紹瞭一種可應用于X射線Kirkpatrick-Baez(KB)顯微鏡的光學元件--X射線超反射鏡.選用的W和B4C作為鍍膜材料,膜對數為20,採用單純型調優的方法實現瞭X射線超反射鏡設計,用磁控濺射的方法在Si基片上完成瞭W/B4C X射線超反射鏡的製備.採用高分辨率X射線衍射儀(8 keV)測量瞭X射線超反射鏡的反射特性.製備的X射線超反射鏡在掠入射角分彆為1.052°和1.143°處,反射角度帶寬為0.3°,反射率達到20%,可滿足KB型顯微鏡的要求.
개소료일충가응용우X사선Kirkpatrick-Baez(KB)현미경적광학원건--X사선초반사경.선용적W화B4C작위도막재료,막대수위20,채용단순형조우적방법실현료X사선초반사경설계,용자공천사적방법재Si기편상완성료W/B4C X사선초반사경적제비.채용고분변솔X사선연사의(8 keV)측량료X사선초반사경적반사특성.제비적X사선초반사경재략입사각분별위1.052°화1.143°처,반사각도대관위0.3°,반사솔체도20%,가만족KB형현미경적요구.
