人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
1期
180-183
,共4页
张群社%陈治明%李留臣%蒲红斌%封先锋
張群社%陳治明%李留臣%蒲紅斌%封先鋒
장군사%진치명%리류신%포홍빈%봉선봉
PVT法%SiC粉源%温度场%温度梯度
PVT法%SiC粉源%溫度場%溫度梯度
PVT법%SiC분원%온도장%온도제도
采用有限元分析法系统地研究了大尺寸6H-SiC晶体PVT法生长装置中感应加热线圈的不同高度和匝间距对生长腔、粉源以及晶体生长温度场的影响;分析比较了线圈不同高度和匝间距时晶体生长面径向温度梯度的变化.结果表明:在中频电源的输出功率和频率固定,盲孔内径不变的情况下,通过调整线圈匝间距和高度可以减小晶体生长面径向温度梯度,改善晶体的质量,同时又有较高的生长速率.
採用有限元分析法繫統地研究瞭大呎吋6H-SiC晶體PVT法生長裝置中感應加熱線圈的不同高度和匝間距對生長腔、粉源以及晶體生長溫度場的影響;分析比較瞭線圈不同高度和匝間距時晶體生長麵徑嚮溫度梯度的變化.結果錶明:在中頻電源的輸齣功率和頻率固定,盲孔內徑不變的情況下,通過調整線圈匝間距和高度可以減小晶體生長麵徑嚮溫度梯度,改善晶體的質量,同時又有較高的生長速率.
채용유한원분석법계통지연구료대척촌6H-SiC정체PVT법생장장치중감응가열선권적불동고도화잡간거대생장강、분원이급정체생장온도장적영향;분석비교료선권불동고도화잡간거시정체생장면경향온도제도적변화.결과표명:재중빈전원적수출공솔화빈솔고정,맹공내경불변적정황하,통과조정선권잡간거화고도가이감소정체생장면경향온도제도,개선정체적질량,동시우유교고적생장속솔.
