中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2008年
5期
558-562
,共5页
肖诗洲%郭锐%程光华%黄文浩
肖詩洲%郭銳%程光華%黃文浩
초시주%곽예%정광화%황문호
铌酸锂%微爆%激光微加工%折射率失配
鈮痠鋰%微爆%激光微加工%摺射率失配
니산리%미폭%격광미가공%절사솔실배
利用紧聚焦飞秒激光脉冲入射到铌酸锂(LiNbO3)晶体中引起微爆,可以在晶体内部进行微爆加工.与各向同性的熔融石英不同,因为铌酸锂晶体的各向异性,微爆加工点在垂直晶轴的截面上表现出强烈的各向异性.我们利用狭缝光阑对入射飞秒高斯光束进行整形,改变了光束的能量分布,成功地减小加工点的各向异性,获得尺寸较一致的微爆单元.另外发现由于折射率失配的存在,飞秒脉冲激光聚焦深度不一样时,微爆加工点在沿晶轴方向的截面形状和尺寸都有很大的变化,对此也进行了理论和实验上的分析.
利用緊聚焦飛秒激光脈遲入射到鈮痠鋰(LiNbO3)晶體中引起微爆,可以在晶體內部進行微爆加工.與各嚮同性的鎔融石英不同,因為鈮痠鋰晶體的各嚮異性,微爆加工點在垂直晶軸的截麵上錶現齣彊烈的各嚮異性.我們利用狹縫光闌對入射飛秒高斯光束進行整形,改變瞭光束的能量分佈,成功地減小加工點的各嚮異性,穫得呎吋較一緻的微爆單元.另外髮現由于摺射率失配的存在,飛秒脈遲激光聚焦深度不一樣時,微爆加工點在沿晶軸方嚮的截麵形狀和呎吋都有很大的變化,對此也進行瞭理論和實驗上的分析.
이용긴취초비초격광맥충입사도니산리(LiNbO3)정체중인기미폭,가이재정체내부진행미폭가공.여각향동성적용융석영불동,인위니산리정체적각향이성,미폭가공점재수직정축적절면상표현출강렬적각향이성.아문이용협봉광란대입사비초고사광속진행정형,개변료광속적능량분포,성공지감소가공점적각향이성,획득척촌교일치적미폭단원.령외발현유우절사솔실배적존재,비초맥충격광취초심도불일양시,미폭가공점재연정축방향적절면형상화척촌도유흔대적변화,대차야진행료이론화실험상적분석.
