稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2008年
6期
739-743
,共5页
王延来%聂洪波%果世驹%王义民
王延來%聶洪波%果世駒%王義民
왕연래%섭홍파%과세구%왕의민
超声电沉积%Cu-In合金膜%表面形貌%Cu/In比率
超聲電沉積%Cu-In閤金膜%錶麵形貌%Cu/In比率
초성전침적%Cu-In합금막%표면형모%Cu/In비솔
采用超声电沉积-热处理两步法和超声共沉积一步法在钼基底上制备了致密的Cu-In合金薄膜.分别用SEM,EDS和XRD分析了Cu/In双层膜以及Cu-In合金膜的表面形貌、成分及相组成.结果表明:采用不同的电沉积工艺参数可以调节合金膜的Cu/In比率;超声电沉积可以得到晶粒细小、均匀致密的Cu,In以及Cu-In合金薄膜;两步法中超声电沉积得到的双层膜为CuIn和Cu或In相,经过热处理后转变为Cu11In9和Cu或In相;一步法超声共沉积得到的合金膜主要为CuIn相,根据Cu/In比率的不同,还会含有少量的Cu11In9或In相.
採用超聲電沉積-熱處理兩步法和超聲共沉積一步法在鉬基底上製備瞭緻密的Cu-In閤金薄膜.分彆用SEM,EDS和XRD分析瞭Cu/In雙層膜以及Cu-In閤金膜的錶麵形貌、成分及相組成.結果錶明:採用不同的電沉積工藝參數可以調節閤金膜的Cu/In比率;超聲電沉積可以得到晶粒細小、均勻緻密的Cu,In以及Cu-In閤金薄膜;兩步法中超聲電沉積得到的雙層膜為CuIn和Cu或In相,經過熱處理後轉變為Cu11In9和Cu或In相;一步法超聲共沉積得到的閤金膜主要為CuIn相,根據Cu/In比率的不同,還會含有少量的Cu11In9或In相.
채용초성전침적-열처리량보법화초성공침적일보법재목기저상제비료치밀적Cu-In합금박막.분별용SEM,EDS화XRD분석료Cu/In쌍층막이급Cu-In합금막적표면형모、성분급상조성.결과표명:채용불동적전침적공예삼수가이조절합금막적Cu/In비솔;초성전침적가이득도정립세소、균균치밀적Cu,In이급Cu-In합금박막;량보법중초성전침적득도적쌍층막위CuIn화Cu혹In상,경과열처리후전변위Cu11In9화Cu혹In상;일보법초성공침적득도적합금막주요위CuIn상,근거Cu/In비솔적불동,환회함유소량적Cu11In9혹In상.
