人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
4期
867-871
,共5页
李晓静%于盛旺%张思凯%唐伟忠%吕反修
李曉靜%于盛旺%張思凱%唐偉忠%呂反脩
리효정%우성왕%장사개%당위충%려반수
等离子反应腔%数值模拟%时域有限差分法%电子密度
等離子反應腔%數值模擬%時域有限差分法%電子密度
등리자반응강%수치모의%시역유한차분법%전자밀도
本文提出了用于化学气相沉积金刚石膜的新型微波等离子体发生器.使用环形介质窗口,置于沉积台的下方而远离等离子体,允许产生体积较大并且温度较高的等离子体.采用时域有限差分法结合Matlab语言,模拟了发生器内的电场分布和等离子体电子密度,研究微波输入功率﹑气体压力等控制工艺参数对等离子体特性的影响.模拟结果表明,在一定微波输入功率和气体压力条件下,在沉积台上方形成均匀分布的等离子体,电场强度﹑电子密度和吸收功率密度随微波工艺参数的改变而呈现有规律的变化.本研究将为微波等离子体化学气相沉积技术的改进提供参考,为进一步建立使用此种新型等离子发生器的MPCVD设备奠定了基础.
本文提齣瞭用于化學氣相沉積金剛石膜的新型微波等離子體髮生器.使用環形介質窗口,置于沉積檯的下方而遠離等離子體,允許產生體積較大併且溫度較高的等離子體.採用時域有限差分法結閤Matlab語言,模擬瞭髮生器內的電場分佈和等離子體電子密度,研究微波輸入功率﹑氣體壓力等控製工藝參數對等離子體特性的影響.模擬結果錶明,在一定微波輸入功率和氣體壓力條件下,在沉積檯上方形成均勻分佈的等離子體,電場彊度﹑電子密度和吸收功率密度隨微波工藝參數的改變而呈現有規律的變化.本研究將為微波等離子體化學氣相沉積技術的改進提供參攷,為進一步建立使用此種新型等離子髮生器的MPCVD設備奠定瞭基礎.
본문제출료용우화학기상침적금강석막적신형미파등리자체발생기.사용배형개질창구,치우침적태적하방이원리등리자체,윤허산생체적교대병차온도교고적등리자체.채용시역유한차분법결합Matlab어언,모의료발생기내적전장분포화등리자체전자밀도,연구미파수입공솔﹑기체압력등공제공예삼수대등리자체특성적영향.모의결과표명,재일정미파수입공솔화기체압력조건하,재침적태상방형성균균분포적등리자체,전장강도﹑전자밀도화흡수공솔밀도수미파공예삼수적개변이정현유규률적변화.본연구장위미파등리자체화학기상침적기술적개진제공삼고,위진일보건립사용차충신형등리자발생기적MPCVD설비전정료기출.
