真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
3期
219-221
,共3页
Cd(Se,S)薄膜 薄膜制备 真空蒸发 性能研究
Cd(Se,S)薄膜 薄膜製備 真空蒸髮 性能研究
Cd(Se,S)박막 박막제비 진공증발 성능연구
利用真空蒸发技术在CdS粉末中掺入不同比例的Se粉末作源,选择合适的工艺条件在玻璃衬底上获得了性能稳定的Cd(Se,S)薄膜,薄膜为纤锌矿结构,具有沿[002]晶向的择优取向.Cd(Se,S)薄膜为n型材料,在可见光范围内具有良好的透过率.随Se成分的增加,薄膜由透明橘黄色变为透明棕红色,吸收限向长波方向移动.
利用真空蒸髮技術在CdS粉末中摻入不同比例的Se粉末作源,選擇閤適的工藝條件在玻璃襯底上穫得瞭性能穩定的Cd(Se,S)薄膜,薄膜為纖鋅礦結構,具有沿[002]晶嚮的擇優取嚮.Cd(Se,S)薄膜為n型材料,在可見光範圍內具有良好的透過率.隨Se成分的增加,薄膜由透明橘黃色變為透明棕紅色,吸收限嚮長波方嚮移動.
이용진공증발기술재CdS분말중참입불동비례적Se분말작원,선택합괄적공예조건재파리츤저상획득료성능은정적Cd(Se,S)박막,박막위섬자광결구,구유연[002]정향적택우취향.Cd(Se,S)박막위n형재료,재가견광범위내구유량호적투과솔.수Se성분적증가,박막유투명귤황색변위투명종홍색,흡수한향장파방향이동.
