功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2007年
3期
226-232
,共7页
刘义冬%李铁%王翊%王跃林
劉義鼕%李鐵%王翊%王躍林
류의동%리철%왕익%왕약림
红外%热电堆%微电子机械系统
紅外%熱電堆%微電子機械繫統
홍외%열전퇴%미전자궤계계통
提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH ((CH3)4NOH)腐蚀等微机械加工技术,设计并制作了CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测器.实验得到的器件成品率达到90%以上,响应率为12.5 V/W,探测率1×107 cmHz1/2/W,为进一步大规模红外面阵研究奠定了基础.
提齣一種採用正麵開口進行濕法腐蝕釋放熱電堆的結構,通過利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生長、IBE(ion beam etching)榦法刻蝕、TMAH ((CH3)4NOH)腐蝕等微機械加工技術,設計併製作瞭CMOS兼容的微機械多晶硅熱電堆紅外探測器.實驗得到的器件成品率達到90%以上,響應率為12.5 V/W,探測率1×107 cmHz1/2/W,為進一步大規模紅外麵陣研究奠定瞭基礎.
제출일충채용정면개구진행습법부식석방열전퇴적결구,통과이용고정도광각、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)박막생장、IBE(ion beam etching)간법각식、TMAH ((CH3)4NOH)부식등미궤계가공기술,설계병제작료CMOS겸용적미궤계다정규열전퇴홍외탐측기.실험득도적기건성품솔체도90%이상,향응솔위12.5 V/W,탐측솔1×107 cmHz1/2/W,위진일보대규모홍외면진연구전정료기출.
