压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2008年
3期
276-278,281
,共4页
田文杰%田双%霍静%崔媛媛%鄂然
田文傑%田雙%霍靜%崔媛媛%鄂然
전문걸%전쌍%곽정%최원원%악연
表面结构%集成式石英谐振器%抛光%倒边
錶麵結構%集成式石英諧振器%拋光%倒邊
표면결구%집성식석영해진기%포광%도변
在研究石英晶体谐振器力敏特性与加力方位角关系及晶体薄片内波的传播特性的基础上,设计制作了基于同一晶体基片上的集成式四电极谐振器.研究了这种结构的谐振器的力敏特性与加力方位、谐振频率稳定性与基片表面和边沿结构的关系.实验结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;对晶体基片表面进行抛光处理,能有效地消除表面缺陷对谐振器振动状态的影响,提高谐振频率的稳定性;对晶体基片边沿进行倒边处理,能缩短谐振波波幅在边沿区衰减的空间距离,抑制了谐振器振动能量沿晶片边沿的散失,使谐振器频率稳定性得到进一步提高.经表面抛光及边沿倒边处理后,谐振器频率波动的平均值分别下降到处理前的42%和30%.
在研究石英晶體諧振器力敏特性與加力方位角關繫及晶體薄片內波的傳播特性的基礎上,設計製作瞭基于同一晶體基片上的集成式四電極諧振器.研究瞭這種結構的諧振器的力敏特性與加力方位、諧振頻率穩定性與基片錶麵和邊沿結構的關繫.實驗結果錶明,諧振器的力敏特性與加力方位密切相關;對晶體基片錶麵進行拋光處理,能有效地消除錶麵缺陷對諧振器振動狀態的影響,提高諧振頻率的穩定性;對晶體基片邊沿進行倒邊處理,能縮短諧振波波幅在邊沿區衰減的空間距離,抑製瞭諧振器振動能量沿晶片邊沿的散失,使諧振器頻率穩定性得到進一步提高.經錶麵拋光及邊沿倒邊處理後,諧振器頻率波動的平均值分彆下降到處理前的42%和30%.
재연구석영정체해진기력민특성여가력방위각관계급정체박편내파적전파특성적기출상,설계제작료기우동일정체기편상적집성식사전겁해진기.연구료저충결구적해진기적력민특성여가력방위、해진빈솔은정성여기편표면화변연결구적관계.실험결과표명,해진기적력민특성여가력방위밀절상관;대정체기편표면진행포광처리,능유효지소제표면결함대해진기진동상태적영향,제고해진빈솔적은정성;대정체기편변연진행도변처리,능축단해진파파폭재변연구쇠감적공간거리,억제료해진기진동능량연정편변연적산실,사해진기빈솔은정성득도진일보제고.경표면포광급변연도변처리후,해진기빈솔파동적평균치분별하강도처리전적42%화30%.
