光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
4期
955-959
,共5页
朱凌建%李照锁%刘君华%张钟华
硃凌建%李照鎖%劉君華%張鐘華
주릉건%리조쇄%류군화%장종화
光学测量%直线度误差%偏振角测量%偏振角调制
光學測量%直線度誤差%偏振角測量%偏振角調製
광학측량%직선도오차%편진각측량%편진각조제
介绍了一种测量导轨直线度误差的新方法,利用偏振干涉原理调制出一束偏振角随光束横向坐标线性变化的特殊线偏振光光束,通过一个随直线度误差移动的光缝测量出光束中不同位置的偏振角,根据直线度误差与偏振角之问的线性关系,实现对直线度误差的测量.从理论上对该方法进行了论证分析,进而详细介绍了光学调制器的组成,设计了偏振角测量的光电组件,并进行了相应的实验.实验结果分析表明,该实验装置的直线度误差与偏振角之间的直线拟合相关指数R2优于0.9995,且测量直线度误差范围不低于0.5 mm,构建的测量系统经标定后测量分辨力可以达到亚微米级,测量不确定度达到1μm.该方法不仅实现方便、可靠性较高,而且可以克服测量时由于光强变化、导轨形面误差对测量结果的影响,稍加改进即可实现二维直线度误差测量,测量精度与自准直仪相当,具有一定的理论研究意义和较强的实际应用前景.
介紹瞭一種測量導軌直線度誤差的新方法,利用偏振榦涉原理調製齣一束偏振角隨光束橫嚮坐標線性變化的特殊線偏振光光束,通過一箇隨直線度誤差移動的光縫測量齣光束中不同位置的偏振角,根據直線度誤差與偏振角之問的線性關繫,實現對直線度誤差的測量.從理論上對該方法進行瞭論證分析,進而詳細介紹瞭光學調製器的組成,設計瞭偏振角測量的光電組件,併進行瞭相應的實驗.實驗結果分析錶明,該實驗裝置的直線度誤差與偏振角之間的直線擬閤相關指數R2優于0.9995,且測量直線度誤差範圍不低于0.5 mm,構建的測量繫統經標定後測量分辨力可以達到亞微米級,測量不確定度達到1μm.該方法不僅實現方便、可靠性較高,而且可以剋服測量時由于光彊變化、導軌形麵誤差對測量結果的影響,稍加改進即可實現二維直線度誤差測量,測量精度與自準直儀相噹,具有一定的理論研究意義和較彊的實際應用前景.
개소료일충측량도궤직선도오차적신방법,이용편진간섭원리조제출일속편진각수광속횡향좌표선성변화적특수선편진광광속,통과일개수직선도오차이동적광봉측량출광속중불동위치적편진각,근거직선도오차여편진각지문적선성관계,실현대직선도오차적측량.종이론상대해방법진행료론증분석,진이상세개소료광학조제기적조성,설계료편진각측량적광전조건,병진행료상응적실험.실험결과분석표명,해실험장치적직선도오차여편진각지간적직선의합상관지수R2우우0.9995,차측량직선도오차범위불저우0.5 mm,구건적측량계통경표정후측량분변력가이체도아미미급,측량불학정도체도1μm.해방법불부실현방편、가고성교고,이차가이극복측량시유우광강변화、도궤형면오차대측량결과적영향,초가개진즉가실현이유직선도오차측량,측량정도여자준직의상당,구유일정적이론연구의의화교강적실제응용전경.
