真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
3期
357-361
,共5页
巩春志%田修波%朱宗涛%杨士勤
鞏春誌%田脩波%硃宗濤%楊士勤
공춘지%전수파%주종도%양사근
脉冲射频%高压脉冲%直接耦合%等离子体离子注入
脈遲射頻%高壓脈遲%直接耦閤%等離子體離子註入
맥충사빈%고압맥충%직접우합%등리자체리자주입
研制的用于等离子体浸没离子注入(PⅢ)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉冲与脉冲射频交替输出.工作过程中,通过射频产生等离子体,而后施加高压脉冲获得离子注入,进而实现PⅢ与沉积.该电源系统的性能指标为:高压脉冲电压幅值10～40 kV,脉冲频率10～1000 Hz,射频脉冲宽度0.01～10 ms,射频与高压间隔01～10 ms,高压脉冲功率6 kW,射频脉冲功率1 kW.实验研究表明能够有效的实现PⅢ.本文将介绍该种新电源的设计思想、电路以及在内凹零部件(如管筒内壁)等离子体离子注入等方面的应用.
研製的用于等離子體浸沒離子註入(PⅢ)的電源繫統採用高壓隔離與高頻濾波技術,將40 kV高壓脈遲電源與13.56 MHz射頻電源直接耦閤,由單一輸齣電纜連接到實驗靶檯上,通過射頻與高壓脈遲的時序控製,實現瞭40 kV的高壓脈遲與脈遲射頻交替輸齣.工作過程中,通過射頻產生等離子體,而後施加高壓脈遲穫得離子註入,進而實現PⅢ與沉積.該電源繫統的性能指標為:高壓脈遲電壓幅值10～40 kV,脈遲頻率10～1000 Hz,射頻脈遲寬度0.01～10 ms,射頻與高壓間隔01～10 ms,高壓脈遲功率6 kW,射頻脈遲功率1 kW.實驗研究錶明能夠有效的實現PⅢ.本文將介紹該種新電源的設計思想、電路以及在內凹零部件(如管筒內壁)等離子體離子註入等方麵的應用.
연제적용우등리자체침몰리자주입(PⅢ)적전원계통채용고압격리여고빈려파기술,장40 kV고압맥충전원여13.56 MHz사빈전원직접우합,유단일수출전람련접도실험파태상,통과사빈여고압맥충적시서공제,실현료40 kV적고압맥충여맥충사빈교체수출.공작과정중,통과사빈산생등리자체,이후시가고압맥충획득리자주입,진이실현PⅢ여침적.해전원계통적성능지표위:고압맥충전압폭치10～40 kV,맥충빈솔10～1000 Hz,사빈맥충관도0.01～10 ms,사빈여고압간격01～10 ms,고압맥충공솔6 kW,사빈맥충공솔1 kW.실험연구표명능구유효적실현PⅢ.본문장개소해충신전원적설계사상、전로이급재내요령부건(여관통내벽)등리자체리자주입등방면적응용.
