计算物理
計算物理
계산물리
CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS
2003年
5期
399-402
,共4页
赵庆勋%张靖%辛红丽%文钦若%杨景发
趙慶勛%張靖%辛紅麗%文欽若%楊景髮
조경훈%장정%신홍려%문흠약%양경발
蒙特卡罗模拟%金刚石薄膜%EACVD
矇特卡囉模擬%金剛石薄膜%EACVD
몽특잡라모의%금강석박막%EACVD
采用蒙特卡罗模拟方法,研究了电子辅助热丝化学气相沉积(EACVD)技术低温合成金刚石薄膜过程中反应区的非线性电场分布.结果表明:阳极基片附近反应区电场的空间分布按指数规律变化,在一定的偏压条件下,随着气压的变化阳极附近将出现反向电场,对于金刚石薄膜的低温合成中的正离子分子,该反向电场起重要作用.
採用矇特卡囉模擬方法,研究瞭電子輔助熱絲化學氣相沉積(EACVD)技術低溫閤成金剛石薄膜過程中反應區的非線性電場分佈.結果錶明:暘極基片附近反應區電場的空間分佈按指數規律變化,在一定的偏壓條件下,隨著氣壓的變化暘極附近將齣現反嚮電場,對于金剛石薄膜的低溫閤成中的正離子分子,該反嚮電場起重要作用.
채용몽특잡라모의방법,연구료전자보조열사화학기상침적(EACVD)기술저온합성금강석박막과정중반응구적비선성전장분포.결과표명:양겁기편부근반응구전장적공간분포안지수규률변화,재일정적편압조건하,수착기압적변화양겁부근장출현반향전장,대우금강석박막적저온합성중적정리자분자,해반향전장기중요작용.
