材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2005年
1期
81-83
,共3页
崔继锋%叶志镇%吴贵斌%赵炳辉
崔繼鋒%葉誌鎮%吳貴斌%趙炳輝
최계봉%협지진%오귀빈%조병휘
锗硅%拉曼%高分辨XRD%应变驰豫%热应变
鍺硅%拉曼%高分辨XRD%應變馳豫%熱應變
타규%랍만%고분변XRD%응변치예%열응변
采用Raman光谱对高Ge含量的锗硅合金中的应变驰豫进行研究,运用Mooney的两种方法对合金中Ge成分及应力进行了分析,并用HRXRD对其分析结果进行了验证.最后分析了热应变对Si1-xGex外延的影响.
採用Raman光譜對高Ge含量的鍺硅閤金中的應變馳豫進行研究,運用Mooney的兩種方法對閤金中Ge成分及應力進行瞭分析,併用HRXRD對其分析結果進行瞭驗證.最後分析瞭熱應變對Si1-xGex外延的影響.
채용Raman광보대고Ge함량적타규합금중적응변치예진행연구,운용Mooney적량충방법대합금중Ge성분급응력진행료분석,병용HRXRD대기분석결과진행료험증.최후분석료열응변대Si1-xGex외연적영향.
