金刚石薄膜生长速度研究
금강석박막생장속도연구
Growth of CVD diamond thin films with high growth rate
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2005年 4期 427-430 ,共4页

    王传新%汪建华%满卫东%马志斌%王升高%傅朝坤%李克林%康志成

    왕전신%왕건화%만위동%마지빈%왕승고%부조곤%리극림%강지성

    金刚石薄膜%生长速度%镀铜%硬质合金 金剛石薄膜%生長速度%鍍銅%硬質閤金
    금강석박막%생장속도%도동%경질합금
    在电子辅助热丝CVD中,研究刀具预处理对金刚石薄膜生长速度的影响.在保持生长条件不变的前提下,经酸腐蚀处理的刀具的侧、背面镀铜能使金刚石薄膜的生长速度从没有镀铜时的4μm/h增加到镀铜后的10.6μm/h.镀铜处理提高了刀具的电导率,使得热丝发射的电子在偏压电场的作用下,在刀具表面附近聚集,加速氢气和丙酮的裂解,从而提高金刚石薄膜生长速度.SEM和Raman测试结果表明,高速生长的金刚石薄膜仍然具有很高质量.
    재전자보조열사CVD중,연구도구예처리대금강석박막생장속도적영향.재보지생장조건불변적전제하,경산부식처리적도구적측、배면도동능사금강석박막적생장속도종몰유도동시적4μm/h증가도도동후적10.6μm/h.도동처리제고료도구적전도솔,사득열사발사적전자재편압전장적작용하,재도구표면부근취집,가속경기화병동적렬해,종이제고금강석박막생장속도.SEM화Raman측시결과표명,고속생장적금강석박막잉연구유흔고질량.
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