微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
4期
34-38
,共5页
超磁致伸缩%薄膜%磁致伸缩系数%测试系统
超磁緻伸縮%薄膜%磁緻伸縮繫數%測試繫統
초자치신축%박막%자치신축계수%측시계통
针对超磁致伸缩薄膜制备过程中所关心的性能测试问题,提出了利用外加磁场引起薄膜变形,运用微位移传感器测试薄膜变形的新方法,以此为基础,建立了超磁致伸缩薄膜性能测试系统,并通过本系统测试比较了不同条件下制备的Tbo.27 Dy0.73 Fe2 薄膜的磁性能.结果表明,在制备磁致伸缩薄膜材料过程中施加一个平行于薄膜长度方向的磁场,可得到更好的磁致伸缩性能.
針對超磁緻伸縮薄膜製備過程中所關心的性能測試問題,提齣瞭利用外加磁場引起薄膜變形,運用微位移傳感器測試薄膜變形的新方法,以此為基礎,建立瞭超磁緻伸縮薄膜性能測試繫統,併通過本繫統測試比較瞭不同條件下製備的Tbo.27 Dy0.73 Fe2 薄膜的磁性能.結果錶明,在製備磁緻伸縮薄膜材料過程中施加一箇平行于薄膜長度方嚮的磁場,可得到更好的磁緻伸縮性能.
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