大连海事大学学报
大連海事大學學報
대련해사대학학보
JOURNAL OF DALIAN MARITIME UNIVERSITY
2009年
1期
62-65
,共4页
裴伟%朱永英%王立鼎%张慧达
裴偉%硃永英%王立鼎%張慧達
배위%주영영%왕립정%장혜체
光学体视显微镜(SLM)%显微立体视觉%双重折射%校正算法
光學體視顯微鏡(SLM)%顯微立體視覺%雙重摺射%校正算法
광학체시현미경(SLM)%현미입체시각%쌍중절사%교정산법
为解决微流控芯片检测中由于盖片的双重折射效应导致的聚焦误差、色差和视场误差等问题,从折射基本定理出发,结合光学体视显微镜(SLM)的双光路结构,建立了SLM显微立体视觉双重折射变折射率校正算法,实现了对透明封闭容腔的非接触无损三维精确测量.在微沟道测量实验中,深度方向的测量误差由7.1 μm减小到1.5μm,相对误差由18.68%减小到3.95%.SLM显微立体视觉三维测量系统与表面轮廓仪、激光共焦扫描显微镜的横向对比测量实验,证明了SLM显微立体视觉双重折射变折射率校正的必要性和有效性.
為解決微流控芯片檢測中由于蓋片的雙重摺射效應導緻的聚焦誤差、色差和視場誤差等問題,從摺射基本定理齣髮,結閤光學體視顯微鏡(SLM)的雙光路結構,建立瞭SLM顯微立體視覺雙重摺射變摺射率校正算法,實現瞭對透明封閉容腔的非接觸無損三維精確測量.在微溝道測量實驗中,深度方嚮的測量誤差由7.1 μm減小到1.5μm,相對誤差由18.68%減小到3.95%.SLM顯微立體視覺三維測量繫統與錶麵輪廓儀、激光共焦掃描顯微鏡的橫嚮對比測量實驗,證明瞭SLM顯微立體視覺雙重摺射變摺射率校正的必要性和有效性.
위해결미류공심편검측중유우개편적쌍중절사효응도치적취초오차、색차화시장오차등문제,종절사기본정리출발,결합광학체시현미경(SLM)적쌍광로결구,건립료SLM현미입체시각쌍중절사변절사솔교정산법,실현료대투명봉폐용강적비접촉무손삼유정학측량.재미구도측량실험중,심도방향적측량오차유7.1 μm감소도1.5μm,상대오차유18.68%감소도3.95%.SLM현미입체시각삼유측량계통여표면륜곽의、격광공초소묘현미경적횡향대비측량실험,증명료SLM현미입체시각쌍중절사변절사솔교정적필요성화유효성.
