海军航空工程学院学报
海軍航空工程學院學報
해군항공공정학원학보
JOURNAL OF NAVAL AERONAUTICAL ENGINEERING INSTITUTE
2009年
4期
469-471
,共3页
张勇%孙校书%史崇德%程子君
張勇%孫校書%史崇德%程子君
장용%손교서%사숭덕%정자군
激光%薄膜材料%温度场%损伤阈值
激光%薄膜材料%溫度場%損傷閾值
격광%박막재료%온도장%손상역치
从激光分离膜的热损伤原理出发,建立了1064nm波长激光分离膜的损伤方程,并给出了损伤阈值的求解过程,在理论上分析了1064 nm波长激光对SiO2薄膜材料的损伤特性;文中运用仿真方法得出激光照射过程中薄膜内温度场随杂质位置不同的分布曲线.
從激光分離膜的熱損傷原理齣髮,建立瞭1064nm波長激光分離膜的損傷方程,併給齣瞭損傷閾值的求解過程,在理論上分析瞭1064 nm波長激光對SiO2薄膜材料的損傷特性;文中運用倣真方法得齣激光照射過程中薄膜內溫度場隨雜質位置不同的分佈麯線.
종격광분리막적열손상원리출발,건립료1064nm파장격광분리막적손상방정,병급출료손상역치적구해과정,재이론상분석료1064 nm파장격광대SiO2박막재료적손상특성;문중운용방진방법득출격광조사과정중박막내온도장수잡질위치불동적분포곡선.