湖北大学学报（自然科学版）
湖北大學學報（自然科學版）
호북대학학보（자연과학판）
2010年
4期
418-421
,共4页
黄鹤%章天金%潘瑞琨%陈仁%范生强
黃鶴%章天金%潘瑞琨%陳仁%範生彊
황학%장천금%반서곤%진인%범생강
钛酸锶钡%湿法化学刻蚀%溶胶凝胶法%工艺优化%应用
鈦痠鍶鋇%濕法化學刻蝕%溶膠凝膠法%工藝優化%應用
태산송패%습법화학각식%용효응효법%공예우화%응용
采用sol-gel法在SiO2/Si衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用湿法化学刻蚀技术对BST薄膜进行图形化.通过实验结果对比,选择HF/HNO3/H2O2/H2O(体积比为1∶20∶50∶20)的混合液作为最佳刻蚀液.扫描电镜(SEM)结果表明,刻蚀后BST薄膜表面干净,无残留物, 图形轮廓清晰. 原子力显微镜 (AFM)和X射线衍射(XRD)结果显示,刻蚀后BST薄膜表面粗糙度增大,结晶性退化.对刻蚀后的薄膜在600 ℃后退火处理,能要在一定程度上恢复其表面形貌和结晶性.应用优化工艺制备BST薄膜阵列,采用剥离法将Au,Ni/Cr和Pt/Ti电极进行微图形化.最后,成功地制备了Au/Ni/Cr/BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构的8×8元的红外探测器阵列.
採用sol-gel法在SiO2/Si襯底上製備瞭Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用濕法化學刻蝕技術對BST薄膜進行圖形化.通過實驗結果對比,選擇HF/HNO3/H2O2/H2O(體積比為1∶20∶50∶20)的混閤液作為最佳刻蝕液.掃描電鏡(SEM)結果錶明,刻蝕後BST薄膜錶麵榦淨,無殘留物, 圖形輪廓清晰. 原子力顯微鏡 (AFM)和X射線衍射(XRD)結果顯示,刻蝕後BST薄膜錶麵粗糙度增大,結晶性退化.對刻蝕後的薄膜在600 ℃後退火處理,能要在一定程度上恢複其錶麵形貌和結晶性.應用優化工藝製備BST薄膜陣列,採用剝離法將Au,Ni/Cr和Pt/Ti電極進行微圖形化.最後,成功地製備瞭Au/Ni/Cr/BST/Pt/Ti/SiO2/Si結構的8×8元的紅外探測器陣列.
채용sol-gel법재SiO2/Si츤저상제비료Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)박막.이용습법화학각식기술대BST박막진행도형화.통과실험결과대비,선택HF/HNO3/H2O2/H2O(체적비위1∶20∶50∶20)적혼합액작위최가각식액.소묘전경(SEM)결과표명,각식후BST박막표면간정,무잔류물, 도형륜곽청석. 원자력현미경 (AFM)화X사선연사(XRD)결과현시,각식후BST박막표면조조도증대,결정성퇴화.대각식후적박막재600 ℃후퇴화처리,능요재일정정도상회복기표면형모화결정성.응용우화공예제비BST박막진렬,채용박리법장Au,Ni/Cr화Pt/Ti전겁진행미도형화.최후,성공지제비료Au/Ni/Cr/BST/Pt/Ti/SiO2/Si결구적8×8원적홍외탐측기진렬.
