微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
12期
809-815
,共7页
王淑娥%曲艳丽%董再励%杨洋%周磊
王淑娥%麯豔麗%董再勵%楊洋%週磊
왕숙아%곡염려%동재려%양양%주뢰
介电泳(DEP)%光刻技术%金纳米颗粒%纳米传感器%纳米器件的组装与装配
介電泳(DEP)%光刻技術%金納米顆粒%納米傳感器%納米器件的組裝與裝配
개전영(DEP)%광각기술%금납미과립%납미전감기%납미기건적조장여장배
研究了一种基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法.在分析介电泳工作原理的基础上,利用Comsol Multiphysics仿真软件,对平面微电极条件下所产生的空间电场进行了建模仿真,研究了金纳米粒子极化模型及相关介电泳频谱特性.设计加工了基于光刻标准工艺和引线键合技术的平面微电极阵列,构建了具有三维位移平台和视频监控装置的介电泳装配实验平台.以250 nm金颗粒为实验对象,在理论分析基础上,完成了在微电极阵列上的介电泳组装实验研究,并通过电特性测量验证了组装结果.实验结果表明:金纳米颗粒的介电泳组装效果与介质溶液的电导率、电场频率和幅度、金纳米粒子浓度、电极间隙及作用时间有关,在适宜的条件下,采用介电泳技术可实现对金纳米颗粒的有效操控和纳米器件装配,该方法为纳米传感器的制造提供了一种有效途径.
研究瞭一種基于介電泳機理的金納米顆粒傳感器裝配方法.在分析介電泳工作原理的基礎上,利用Comsol Multiphysics倣真軟件,對平麵微電極條件下所產生的空間電場進行瞭建模倣真,研究瞭金納米粒子極化模型及相關介電泳頻譜特性.設計加工瞭基于光刻標準工藝和引線鍵閤技術的平麵微電極陣列,構建瞭具有三維位移平檯和視頻鑑控裝置的介電泳裝配實驗平檯.以250 nm金顆粒為實驗對象,在理論分析基礎上,完成瞭在微電極陣列上的介電泳組裝實驗研究,併通過電特性測量驗證瞭組裝結果.實驗結果錶明:金納米顆粒的介電泳組裝效果與介質溶液的電導率、電場頻率和幅度、金納米粒子濃度、電極間隙及作用時間有關,在適宜的條件下,採用介電泳技術可實現對金納米顆粒的有效操控和納米器件裝配,該方法為納米傳感器的製造提供瞭一種有效途徑.
연구료일충기우개전영궤리적금납미과립전감기장배방법.재분석개전영공작원리적기출상,이용Comsol Multiphysics방진연건,대평면미전겁조건하소산생적공간전장진행료건모방진,연구료금납미입자겁화모형급상관개전영빈보특성.설계가공료기우광각표준공예화인선건합기술적평면미전겁진렬,구건료구유삼유위이평태화시빈감공장치적개전영장배실험평태.이250 nm금과립위실험대상,재이론분석기출상,완성료재미전겁진렬상적개전영조장실험연구,병통과전특성측량험증료조장결과.실험결과표명:금납미과립적개전영조장효과여개질용액적전도솔、전장빈솔화폭도、금납미입자농도、전겁간극급작용시간유관,재괄의적조건하,채용개전영기술가실현대금납미과립적유효조공화납미기건장배,해방법위납미전감기적제조제공료일충유효도경.
