振动与冲击
振動與遲擊
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JOURNAL OF VIBRATION AND SHOCK
2012年
8期
130-135,147
,共7页
舒强%施宁平%饶学军%郭友明
舒彊%施寧平%饒學軍%郭友明
서강%시저평%요학군%곽우명
微定位%并联%LQG%窄带扰动%噪声抑制
微定位%併聯%LQG%窄帶擾動%譟聲抑製
미정위%병련%LQG%착대우동%조성억제
介绍一种新型的压电陶瓷驱动的并联XYY结构微定位平台.该平台通过Y方向两个压电驱动器的实时校正,能够避免因加工装配误差引起的结构非对称性对平台运动直线度的影响.推导微定位平台的动力学模型.通过引入过程噪声的数学模型增广LQG控制器,实现微定位平台解耦和跟踪,仿真发现这种方法能够有效抑制窄带随机扰动,提高定位精度.
介紹一種新型的壓電陶瓷驅動的併聯XYY結構微定位平檯.該平檯通過Y方嚮兩箇壓電驅動器的實時校正,能夠避免因加工裝配誤差引起的結構非對稱性對平檯運動直線度的影響.推導微定位平檯的動力學模型.通過引入過程譟聲的數學模型增廣LQG控製器,實現微定位平檯解耦和跟蹤,倣真髮現這種方法能夠有效抑製窄帶隨機擾動,提高定位精度.
개소일충신형적압전도자구동적병련XYY결구미정위평태.해평태통과Y방향량개압전구동기적실시교정,능구피면인가공장배오차인기적결구비대칭성대평태운동직선도적영향.추도미정위평태적동역학모형.통과인입과정조성적수학모형증엄LQG공제기,실현미정위평태해우화근종,방진발현저충방법능구유효억제착대수궤우동,제고정위정도.
