传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2002年
2期
136-139
,共4页
刘伟庭%蔡强%郭希山%陈裕泉%王立人
劉偉庭%蔡彊%郭希山%陳裕泉%王立人
류위정%채강%곽희산%진유천%왕립인
软光刻%再铸模%微毛细管%微阀,PDMS
軟光刻%再鑄模%微毛細管%微閥,PDMS
연광각%재주모%미모세관%미벌,PDMS
本文介绍了一种新的微结构制造技术--软光刻技术,它提供了一种方便、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法.本文着重涉及了软光刻的几项关键技术:弹性印模、再铸模等,阐述了模板的制备方法和原理,并应用这种模板实现微阀和微毛细管.
本文介紹瞭一種新的微結構製造技術--軟光刻技術,它提供瞭一種方便、有效的和低成本的微米、納米呎吋微結構的製造方法.本文著重涉及瞭軟光刻的幾項關鍵技術:彈性印模、再鑄模等,闡述瞭模闆的製備方法和原理,併應用這種模闆實現微閥和微毛細管.
본문개소료일충신적미결구제조기술--연광각기술,타제공료일충방편、유효적화저성본적미미、납미척촌미결구적제조방법.본문착중섭급료연광각적궤항관건기술:탄성인모、재주모등,천술료모판적제비방법화원리,병응용저충모판실현미벌화미모세관.
