物理学报
物理學報
물이학보
2004年
9期
2905-2909
,共5页
槽栅MOSFET%拐角效应%阈值电压%热载流子退化
槽柵MOSFET%枴角效應%閾值電壓%熱載流子退化
조책MOSFET%괴각효응%역치전압%열재류자퇴화
应用二维器件仿真程序PISCES-Ⅱ,模拟计算了新型槽栅结构器件中凹槽拐角效应的影响与作用,讨论了槽栅结构MOSFET的沟道电场特征及其对热载流子效应、阈值电压特性等的影响.槽栅结构的凹槽拐角效应对抑制短沟道效应和抗热载流子效应是十分有利的,并且拐角结构在45°左右时拐角效应最大.调节拐角与其他结构参数,器件的热载流子效应、阈值电压特性、亚阈值特性、输出特性等都会有较大的变化.
應用二維器件倣真程序PISCES-Ⅱ,模擬計算瞭新型槽柵結構器件中凹槽枴角效應的影響與作用,討論瞭槽柵結構MOSFET的溝道電場特徵及其對熱載流子效應、閾值電壓特性等的影響.槽柵結構的凹槽枴角效應對抑製短溝道效應和抗熱載流子效應是十分有利的,併且枴角結構在45°左右時枴角效應最大.調節枴角與其他結構參數,器件的熱載流子效應、閾值電壓特性、亞閾值特性、輸齣特性等都會有較大的變化.
응용이유기건방진정서PISCES-Ⅱ,모의계산료신형조책결구기건중요조괴각효응적영향여작용,토론료조책결구MOSFET적구도전장특정급기대열재류자효응、역치전압특성등적영향.조책결구적요조괴각효응대억제단구도효응화항열재류자효응시십분유리적,병차괴각결구재45°좌우시괴각효응최대.조절괴각여기타결구삼수,기건적열재류자효응、역치전압특성、아역치특성、수출특성등도회유교대적변화.
