北京师范大学学报（自然科学版）
北京師範大學學報（自然科學版）
북경사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2005年
1期
35-37
,共3页
吴正龙%覃礼钊%王平%张通和%吴瑜光
吳正龍%覃禮釗%王平%張通和%吳瑜光
오정룡%담례쇠%왕평%장통화%오유광
类金刚石薄膜%聚脂膜%XPS%硬度
類金剛石薄膜%聚脂膜%XPS%硬度
류금강석박막%취지막%XPS%경도
X光电子能谱和硬度分析测试表明:利用MEVVA离子注入机在聚脂膜(PET)表面注入或沉积C,可形成类金刚石(DLC)薄膜.根据C1s XPS谱可直接计算出DLC中sp3键所占比例.沉积法生长的DLC中sp3键所占比例明显高于注入法.与衬底PET相比,表面薄膜硬度提高了1个量级,大大改善了PET的性质.对DLC膜中的碳氧化合物污染进行了讨论.
X光電子能譜和硬度分析測試錶明:利用MEVVA離子註入機在聚脂膜(PET)錶麵註入或沉積C,可形成類金剛石(DLC)薄膜.根據C1s XPS譜可直接計算齣DLC中sp3鍵所佔比例.沉積法生長的DLC中sp3鍵所佔比例明顯高于註入法.與襯底PET相比,錶麵薄膜硬度提高瞭1箇量級,大大改善瞭PET的性質.對DLC膜中的碳氧化閤物汙染進行瞭討論.
X광전자능보화경도분석측시표명:이용MEVVA리자주입궤재취지막(PET)표면주입혹침적C,가형성류금강석(DLC)박막.근거C1s XPS보가직접계산출DLC중sp3건소점비례.침적법생장적DLC중sp3건소점비례명현고우주입법.여츤저PET상비,표면박막경도제고료1개량급,대대개선료PET적성질.대DLC막중적탄양화합물오염진행료토론.
