功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2005年
11期
1701-1703
,共3页
吴家刚%朱基亮%朱建国%于光龙%袁小武%肖定全
吳傢剛%硃基亮%硃建國%于光龍%袁小武%肖定全
오가강%주기량%주건국%우광룡%원소무%초정전
射频磁控溅射%铁电薄膜%(Pb,La)TiO3%XRD%XPS%SEM
射頻磁控濺射%鐵電薄膜%(Pb,La)TiO3%XRD%XPS%SEM
사빈자공천사%철전박막%(Pb,La)TiO3%XRD%XPS%SEM
采用射频磁控溅射技术在室温淀积、其后在700℃下退火10min,制备了(Pb,La)TiO3(简记为PLT)铁电薄膜.利用XRD研究了薄膜的结晶性;利用XPS研究了薄膜表面的化学成分、组分以及表面原子的化学价态;利用SEM研究了薄膜的断面.薄膜结构分析结果表明,在一定的制备工艺条件下,薄膜制备时间的长短对薄膜结晶性能的影响不大;XPS波谱分析表明,所测得的元素有Pb、La、Ti、O和C,其中C元素是薄膜在制备或测试过程中的污染,薄膜中没有其它杂质元素;由断面的SEM分析可知,在本论文采用的制备工艺条件下,薄膜与基底之间基本上没有互扩散,薄膜与基底的界面比较清楚.
採用射頻磁控濺射技術在室溫澱積、其後在700℃下退火10min,製備瞭(Pb,La)TiO3(簡記為PLT)鐵電薄膜.利用XRD研究瞭薄膜的結晶性;利用XPS研究瞭薄膜錶麵的化學成分、組分以及錶麵原子的化學價態;利用SEM研究瞭薄膜的斷麵.薄膜結構分析結果錶明,在一定的製備工藝條件下,薄膜製備時間的長短對薄膜結晶性能的影響不大;XPS波譜分析錶明,所測得的元素有Pb、La、Ti、O和C,其中C元素是薄膜在製備或測試過程中的汙染,薄膜中沒有其它雜質元素;由斷麵的SEM分析可知,在本論文採用的製備工藝條件下,薄膜與基底之間基本上沒有互擴散,薄膜與基底的界麵比較清楚.
채용사빈자공천사기술재실온정적、기후재700℃하퇴화10min,제비료(Pb,La)TiO3(간기위PLT)철전박막.이용XRD연구료박막적결정성;이용XPS연구료박막표면적화학성분、조분이급표면원자적화학개태;이용SEM연구료박막적단면.박막결구분석결과표명,재일정적제비공예조건하,박막제비시간적장단대박막결정성능적영향불대;XPS파보분석표명,소측득적원소유Pb、La、Ti、O화C,기중C원소시박막재제비혹측시과정중적오염,박막중몰유기타잡질원소;유단면적SEM분석가지,재본논문채용적제비공예조건하,박막여기저지간기본상몰유호확산,박막여기저적계면비교청초.
