微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试
미습진기압전현비량결구적설계여측시
Design and Test of Piezoelectric Cantilever Structure for Microvibration Pickup Sensor
  • 万方数据
    微细加工技术 미세가공기술
    MICROFABRICATION TECHNOLOGY
    2006年 5期 55-58,64 ,共5页

    方华斌%董璐%刘景全%陈迪%蔡炳初%徐峥谊%王莉

    방화빈%동로%류경전%진적%채병초%서쟁의%왕리

    微拾振器%压电悬臂梁%有限元模拟%固有频率%电压输出 微拾振器%壓電懸臂樑%有限元模擬%固有頻率%電壓輸齣
    미습진기%압전현비량%유한원모의%고유빈솔%전압수출
    提出了一种压电悬臂梁结构的微拾振器,利用有限元法计算了结构的固有频率和电压输出,以设计适合具体应用环境的器件结构.采用MEMS技术制备了器件原型并进行了试验测试.研究表明,所制备的器件在加速度为9.8 m/s2的低频谐振激励下电压输出达200 mV以上.考虑到压电薄膜的制备和湿法刻蚀硅造成的不均匀性,可以认为,测试结果和模拟结果基本相符,为设计、制备高性能的器件打下了良好的基础.
    제출료일충압전현비량결구적미습진기,이용유한원법계산료결구적고유빈솔화전압수출,이설계괄합구체응용배경적기건결구.채용MEMS기술제비료기건원형병진행료시험측시.연구표명,소제비적기건재가속도위9.8 m/s2적저빈해진격려하전압수출체200 mV이상.고필도압전박막적제비화습법각식규조성적불균균성,가이인위,측시결과화모의결과기본상부,위설계、제비고성능적기건타하료량호적기출.
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