体硅MOEMS阵列光开关的制作
체규MOEMS진렬광개관적제작
Fabrication of the Bulk Silicon MOEMS Optical Switch Array
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2006年 8期 573-575,587 ,共4页

    董玮%梁静秋%刘彩霞%张歆东%贾翠萍%周敬然%王立军%陈维友

    동위%량정추%류채하%장흠동%가취평%주경연%왕립군%진유우

    光开关阵列%微光电子机械系统%微反射镜%倾斜下电极 光開關陣列%微光電子機械繫統%微反射鏡%傾斜下電極
    광개관진렬%미광전자궤계계통%미반사경%경사하전겁
    设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成.上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列.具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点.对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题.
    설계료일충신형결구적MOEMS진렬광개관,개관유상전겁진렬、경사하전겁진렬화준직광섬진렬삼부분조성.상전겁진렬이용(110)규편제작,기중포괄반사경진렬화뉴비구동결구적상전겁진렬.구유집성성호,제작공예간단,미반사경적표면평정수직,각단원적미경면평행,반사경면적척촌교대등우점.대광개관적삼수진행료측시,지출료체규MOEMS진렬광개관제작과정중존재적문제.
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