微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2007年
3期
369-373
,共5页
张敏%丁士进%陈玮%张卫
張敏%丁士進%陳瑋%張衛
장민%정사진%진위%장위
金属纳米晶%快闪存储器%能带工程
金屬納米晶%快閃存儲器%能帶工程
금속납미정%쾌섬존저기%능대공정
金属纳米晶具有态密度高、费米能级选择范围广以及无多维载流子限制效应等优越性,预示着金属纳米晶快闪存储器在下一代闪存器件中具有很好的应用前景.从金属纳米晶存储器的工作原理、纳米晶的制备方法、以及新型介质材料和电荷俘获层结构等方面,对金属纳米晶存储器近年来的研究进展进行了总结.
金屬納米晶具有態密度高、費米能級選擇範圍廣以及無多維載流子限製效應等優越性,預示著金屬納米晶快閃存儲器在下一代閃存器件中具有很好的應用前景.從金屬納米晶存儲器的工作原理、納米晶的製備方法、以及新型介質材料和電荷俘穫層結構等方麵,對金屬納米晶存儲器近年來的研究進展進行瞭總結.
금속납미정구유태밀도고、비미능급선택범위엄이급무다유재류자한제효응등우월성,예시착금속납미정쾌섬존저기재하일대섬존기건중구유흔호적응용전경.종금속납미정존저기적공작원리、납미정적제비방법、이급신형개질재료화전하부획층결구등방면,대금속납미정존저기근년래적연구진전진행료총결.
