华中科技大学学报（自然科学版）
華中科技大學學報（自然科學版）
화중과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURE SCIENCE)
2007年
z1期
108-111
,共4页
二氧化铪薄膜%激光损伤阈值%物理汽相沉积
二氧化鉿薄膜%激光損傷閾值%物理汽相沉積
이양화협박막%격광손상역치%물리기상침적
分别采用电子束蒸镀、离子束辅助沉积、离子束反应辅助沉积、双离子束溅射技术制备了二氧化铪薄膜,研究了薄膜的光学特性、缺陷、残余应力、弱吸收和抗激光损伤阈值.发现离子束反应辅助沉积的二氧化铪薄膜具有低的缺陷密度和高的损伤阈值;双离子束溅射的二氧化铪薄膜具有高的折射率、高的残余应力和低的损伤阈值.对二氧化铪薄膜的损伤阈值与上述特性之间的依赖关系进行了讨论,发现残余应力是影响薄膜抗激光损伤阈值的一个重要原因.
分彆採用電子束蒸鍍、離子束輔助沉積、離子束反應輔助沉積、雙離子束濺射技術製備瞭二氧化鉿薄膜,研究瞭薄膜的光學特性、缺陷、殘餘應力、弱吸收和抗激光損傷閾值.髮現離子束反應輔助沉積的二氧化鉿薄膜具有低的缺陷密度和高的損傷閾值;雙離子束濺射的二氧化鉿薄膜具有高的摺射率、高的殘餘應力和低的損傷閾值.對二氧化鉿薄膜的損傷閾值與上述特性之間的依賴關繫進行瞭討論,髮現殘餘應力是影響薄膜抗激光損傷閾值的一箇重要原因.
분별채용전자속증도、리자속보조침적、리자속반응보조침적、쌍리자속천사기술제비료이양화협박막,연구료박막적광학특성、결함、잔여응력、약흡수화항격광손상역치.발현리자속반응보조침적적이양화협박막구유저적결함밀도화고적손상역치;쌍리자속천사적이양화협박막구유고적절사솔、고적잔여응력화저적손상역치.대이양화협박막적손상역치여상술특성지간적의뢰관계진행료토론,발현잔여응력시영향박막항격광손상역치적일개중요원인.
