中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2008年
3期
330-334
,共5页
丁雷%尚德广%张大成%贾冠华%李浩群
丁雷%尚德廣%張大成%賈冠華%李浩群
정뢰%상덕엄%장대성%가관화%리호군
微机电系统设计%疲劳%薄膜%梳状驱动器%有限元分析
微機電繫統設計%疲勞%薄膜%梳狀驅動器%有限元分析
미궤전계통설계%피로%박막%소상구동기%유한원분석
根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工.对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析.分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测.有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求.
根據梳狀驅動器原理設計瞭一種靜電力驅動的硅微薄膜彎麯疲勞試驗裝置,所設計的裝置可以由微機電繫統錶麵犧牲層標準工藝製作加工.對所設計疲勞試驗裝置的圓弧梳狀驅動器電容及靜電驅動力進行瞭理論分析,併在此基礎上採用有限元分析軟件ANSYS對裝置進行瞭模態分析與簡諧分析.分析結果錶明:噹所施加的交流電壓頻率與結構的一階固有頻率相等時,試樣在其缺口根部取得最大應力值,該應力值與所加交直流電壓乘積的大小成線性關繫,利用該關繫式可對試驗所需電壓值進行預測.有限元分析和製造結果觀測錶明,所設計的裝置符閤微機械疲勞試驗要求.
근거소상구동기원리설계료일충정전력구동적규미박막만곡피로시험장치,소설계적장치가이유미궤전계통표면희생층표준공예제작가공.대소설계피로시험장치적원호소상구동기전용급정전구동력진행료이론분석,병재차기출상채용유한원분석연건ANSYS대장치진행료모태분석여간해분석.분석결과표명:당소시가적교류전압빈솔여결구적일계고유빈솔상등시,시양재기결구근부취득최대응력치,해응력치여소가교직류전압승적적대소성선성관계,이용해관계식가대시험소수전압치진행예측.유한원분석화제조결과관측표명,소설계적장치부합미궤계피로시험요구.
