大电流密度下欧姆接触退化机理的研究
대전류밀도하구모접촉퇴화궤리적연구
Study on Ohmic Contact Degradation under High Current Density
  • 万方数据
    固体电子学研究与进展 고체전자학연구여진전
    RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
    2009年 3期 469-472 ,共4页

    张跃宗%冯士维%郭春生%张光沉%庄四祥%苏蓉%白云霞%吕长志

    장약종%풍사유%곽춘생%장광침%장사상%소용%백운하%려장지

    大电流密度%欧姆接触%比接触电阻 大電流密度%歐姆接觸%比接觸電阻
    대전류밀도%구모접촉%비접촉전조
    对大电流密度下欧姆接触的结构进行了改进,采用只对接触区域老化而其它区域非破坏性的结构特点,保证测量数据的真实有效性.工艺制备中采取多次SiO2铺垫多次光刻技术解决了引线电极断裂的可能.通过施加达到或超过105A/cm2电流密度,利用文中结构测得比接触电阻早期快速失效,且随电流密度增加退化加剧,对样品老化前后进行能谱分析得知,大电流密度下接触层中Al离子发生了扩散从而破坏了良好接触.
    대대전류밀도하구모접촉적결구진행료개진,채용지대접촉구역노화이기타구역비파배성적결구특점,보증측량수거적진실유효성.공예제비중채취다차SiO2포점다차광각기술해결료인선전겁단렬적가능.통과시가체도혹초과105A/cm2전류밀도,이용문중결구측득비접촉전조조기쾌속실효,차수전류밀도증가퇴화가극,대양품노화전후진행능보분석득지,대전류밀도하접촉층중Al리자발생료확산종이파배료량호접촉.
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