湖南工业大学学报
湖南工業大學學報
호남공업대학학보
JOURNAL OF HUNAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2010年
6期
18-22
,共5页
吴明明%谈瑛%侯清麟%王吉清
吳明明%談瑛%侯清麟%王吉清
오명명%담영%후청린%왕길청
四氯化硅%二氧化硅%氢化%等离子体法%多晶硅
四氯化硅%二氧化硅%氫化%等離子體法%多晶硅
사록화규%이양화규%경화%등리자체법%다정규
综述了四氯化硅的主要处理方法和应用研究进展.详细介绍了四氯化硅在制备二氧化硅、多晶硅、三氯硅烷及其他硅烷产品方面的应用及其制备原理,并对各制备工艺技术进行了分析.
綜述瞭四氯化硅的主要處理方法和應用研究進展.詳細介紹瞭四氯化硅在製備二氧化硅、多晶硅、三氯硅烷及其他硅烷產品方麵的應用及其製備原理,併對各製備工藝技術進行瞭分析.
종술료사록화규적주요처리방법화응용연구진전.상세개소료사록화규재제비이양화규、다정규、삼록규완급기타규완산품방면적응용급기제비원리,병대각제비공예기술진행료분석.
