光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
11期
2596-2602
,共7页
尼启良%韩素立%陈斌%王海峰
尼啟良%韓素立%陳斌%王海峰
니계량%한소립%진빈%왕해봉
极紫外(EUV)相机%球面微通道板%次级电子产额%量子探测效率
極紫外(EUV)相機%毬麵微通道闆%次級電子產額%量子探測效率
겁자외(EUV)상궤%구면미통도판%차급전자산액%양자탐측효솔
由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法.根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额.使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线.实验结果表明,入射角为15.时的量子探测效率约为入射角为0.时的5倍.
由于毬麵微通道闆(MCP)的量子探測效率與極紫外(EUV)相機的靈敏度有關,本文研究瞭毬麵MCP量子探測效率的特點和測量方法.根據微通道闆在EUV波段光電子產額的理論模型,計算瞭毬麵MCP在該波段下隨不同入射角變化的電子產額.使用激光等離子體光源測量毬麵MCP在EUV波段的量子探測效率,搭建瞭毬麵MCP在該波段的量子探測效率的測量裝置,測量瞭毬麵MCP在不同位置的量子探測效率隨波長和入射角的變化麯線.實驗結果錶明,入射角為15.時的量子探測效率約為入射角為0.時的5倍.
유우구면미통도판(MCP)적양자탐측효솔여겁자외(EUV)상궤적령민도유관,본문연구료구면MCP양자탐측효솔적특점화측량방법.근거미통도판재EUV파단광전자산액적이론모형,계산료구면MCP재해파단하수불동입사각변화적전자산액.사용격광등리자체광원측량구면MCP재EUV파단적양자탐측효솔,탑건료구면MCP재해파단적양자탐측효솔적측량장치,측량료구면MCP재불동위치적양자탐측효솔수파장화입사각적변화곡선.실험결과표명,입사각위15.시적양자탐측효솔약위입사각위0.시적5배.
