仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2012年
1期
13-15
,共3页
张娜%李颖%张治国%祝永峰%董春华%殷波
張娜%李穎%張治國%祝永峰%董春華%慇波
장나%리영%장치국%축영봉%동춘화%은파
硅电容传感器%小间隙%双面静电封接
硅電容傳感器%小間隙%雙麵靜電封接
규전용전감기%소간극%쌍면정전봉접
硅电容传感器由于其结构的精密性与灵敏性,常规的静电封接工艺已无法满足要求.封接后会造成其小间隙(间隙通常＜10μm)极板间的粘连,导致器件失效.文中结合小间隙传感器的结构特点提出了一种双面同时封接的方法,并对封接相关参数进行了分析,确定了相应的封接条件.该工艺既解决了极板粘连问题又简化了工艺步骤,适合现阶段大规模生产的需求.
硅電容傳感器由于其結構的精密性與靈敏性,常規的靜電封接工藝已無法滿足要求.封接後會造成其小間隙(間隙通常＜10μm)極闆間的粘連,導緻器件失效.文中結閤小間隙傳感器的結構特點提齣瞭一種雙麵同時封接的方法,併對封接相關參數進行瞭分析,確定瞭相應的封接條件.該工藝既解決瞭極闆粘連問題又簡化瞭工藝步驟,適閤現階段大規模生產的需求.
규전용전감기유우기결구적정밀성여령민성,상규적정전봉접공예이무법만족요구.봉접후회조성기소간극(간극통상＜10μm)겁판간적점련,도치기건실효.문중결합소간극전감기적결구특점제출료일충쌍면동시봉접적방법,병대봉접상관삼수진행료분석,학정료상응적봉접조건.해공예기해결료겁판점련문제우간화료공예보취,괄합현계단대규모생산적수구.
