光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2012年
2期
67-71
,共5页
张宇明%李毅%孙若曦%周晟%朱慧群%黄毅泽
張宇明%李毅%孫若晞%週晟%硃慧群%黃毅澤
장우명%리의%손약희%주성%주혜군%황의택
紫外%微透镜阵列%组合多层镀膜与剥离
紫外%微透鏡陣列%組閤多層鍍膜與剝離
자외%미투경진렬%조합다층도막여박리
为了提高紫外成像器件的填充因子,解决凝视型高性能紫外成像器件的核心技术问题,根据标量衍射理论设计了用于128×128日盲型紫外成像器件的微透镜阵列,其工作中心波长为350 nm,单元透镜F数为3.56.采用组合多层镀膜与剥离的工艺方法制备衍射微透镜阵列,对具体的工艺流程和制备误差进行了分析,测量了衍射微透镜阵列的光学性能.实验结果表明:衍射微透镜阵列的衍射效率为86％,与理论值95％有偏差,制备误差主要来自对准误差和线宽误差.紫外衍射微透镜阵列的整体性能满足了微透镜阵列与紫外成像阵列的单片集成要求.
為瞭提高紫外成像器件的填充因子,解決凝視型高性能紫外成像器件的覈心技術問題,根據標量衍射理論設計瞭用于128×128日盲型紫外成像器件的微透鏡陣列,其工作中心波長為350 nm,單元透鏡F數為3.56.採用組閤多層鍍膜與剝離的工藝方法製備衍射微透鏡陣列,對具體的工藝流程和製備誤差進行瞭分析,測量瞭衍射微透鏡陣列的光學性能.實驗結果錶明:衍射微透鏡陣列的衍射效率為86％,與理論值95％有偏差,製備誤差主要來自對準誤差和線寬誤差.紫外衍射微透鏡陣列的整體性能滿足瞭微透鏡陣列與紫外成像陣列的單片集成要求.
위료제고자외성상기건적전충인자,해결응시형고성능자외성상기건적핵심기술문제,근거표량연사이론설계료용우128×128일맹형자외성상기건적미투경진렬,기공작중심파장위350 nm,단원투경F수위3.56.채용조합다층도막여박리적공예방법제비연사미투경진렬,대구체적공예류정화제비오차진행료분석,측량료연사미투경진렬적광학성능.실험결과표명:연사미투경진렬적연사효솔위86％,여이론치95％유편차,제비오차주요래자대준오차화선관오차.자외연사미투경진렬적정체성능만족료미투경진렬여자외성상진렬적단편집성요구.
