高功率准分子激光沉积类金刚石膜的热稳定性
고공솔준분자격광침적류금강석막적열은정성
Thermal Stability of Diamond-like Films Deposited by High Power Excime Laser
  • 万方数据
    吉林大学学报(理学版) 길림대학학보(이학판)
    JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
    2003年 4期 497-500 ,共4页

    金哲%李俊杰%盖同祥%林景波%李哲奎%张寿%彭鸿雁%金曾孙

    금철%리준걸%개동상%림경파%리철규%장수%팽홍안%금증손

    准分子激光沉积%类金刚石膜%热稳定性%退火温度 準分子激光沉積%類金剛石膜%熱穩定性%退火溫度
    준분자격광침적%류금강석막%열은정성%퇴화온도
    在不同温度下(200～ 800 ℃) 将高功率准分子激光溅射方法沉积的类金刚石膜进行退火实验. 利用Raman和XPS光谱分析类金刚石膜在退火过程中的化学键合结构变化. 结果表明, 类金刚石膜是由少量的sp2 C键和大量的sp3 C键组成的非晶态碳膜. 在退火温度小于600 ℃范围内, 类金刚石膜的热稳定性较好; 退火温度高于600 ℃时, 类金刚石膜中的sp3 C键逐渐向sp2 C键转变, 当退火温度升到800 ℃时, 类金刚石膜中sp3 C键含量由退火前的大约70%下降到40 %. 可见, 高温退火能导致类金刚石膜的石墨化趋势.
    재불동온도하(200～ 800 ℃) 장고공솔준분자격광천사방법침적적류금강석막진행퇴화실험. 이용Raman화XPS광보분석류금강석막재퇴화과정중적화학건합결구변화. 결과표명, 류금강석막시유소량적sp2 C건화대량적sp3 C건조성적비정태탄막. 재퇴화온도소우600 ℃범위내, 류금강석막적열은정성교호; 퇴화온도고우600 ℃시, 류금강석막중적sp3 C건축점향sp2 C건전변, 당퇴화온도승도800 ℃시, 류금강석막중sp3 C건함량유퇴화전적대약70%하강도40 %. 가견, 고온퇴화능도치류금강석막적석묵화추세.
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