物理学报
物理學報
물이학보
2003年
6期
1465-1468
,共4页
徐艳月%孔光临%张世斌%胡志华%曾湘波%刁宏伟%廖显伯
徐豔月%孔光臨%張世斌%鬍誌華%曾湘波%刁宏偉%廖顯伯
서염월%공광림%장세빈%호지화%증상파%조굉위%료현백
非晶硅%微结构%光致变化
非晶硅%微結構%光緻變化
비정규%미결구%광치변화
利用等离子体增强化学气相沉积技术研制出了优质稳定的氢化非晶-纳米晶两相结构硅薄膜.薄膜的光电导率相对于器件质量的非晶硅有两个数量级的提高;光敏性也较好,光、暗电导比可以达到104,此外薄膜的光电导谱具有更宽的长波光谱响应.更为重要的是薄膜的光致退化效应远小于典型的非晶硅薄膜,在光强为50mW/cm2的卤钨灯光照24h后,光电导的衰退小于10%.这种薄膜优良的光电性能源于薄膜中的非晶母体的存在使其在光学跃迁中的动量选择定则发生松弛,因而具有大的光学吸收系数和较高的光敏性;相对于典型非晶硅而言,薄膜的中程有序度得到了较大的改善,并具有小的深隙态密度;薄膜中存在的纳米尺寸的微晶颗粒,提供了光生载流子的复合通道,在非晶母体中的电子空穴对可以转移到微晶颗粒中进行复合,这样抑制了非晶母体中的非辐射复合,从而降低了光致亚稳缺陷产生的概率.
利用等離子體增彊化學氣相沉積技術研製齣瞭優質穩定的氫化非晶-納米晶兩相結構硅薄膜.薄膜的光電導率相對于器件質量的非晶硅有兩箇數量級的提高;光敏性也較好,光、暗電導比可以達到104,此外薄膜的光電導譜具有更寬的長波光譜響應.更為重要的是薄膜的光緻退化效應遠小于典型的非晶硅薄膜,在光彊為50mW/cm2的滷鎢燈光照24h後,光電導的衰退小于10%.這種薄膜優良的光電性能源于薄膜中的非晶母體的存在使其在光學躍遷中的動量選擇定則髮生鬆弛,因而具有大的光學吸收繫數和較高的光敏性;相對于典型非晶硅而言,薄膜的中程有序度得到瞭較大的改善,併具有小的深隙態密度;薄膜中存在的納米呎吋的微晶顆粒,提供瞭光生載流子的複閤通道,在非晶母體中的電子空穴對可以轉移到微晶顆粒中進行複閤,這樣抑製瞭非晶母體中的非輻射複閤,從而降低瞭光緻亞穩缺陷產生的概率.
이용등리자체증강화학기상침적기술연제출료우질은정적경화비정-납미정량상결구규박막.박막적광전도솔상대우기건질량적비정규유량개수량급적제고;광민성야교호,광、암전도비가이체도104,차외박막적광전도보구유경관적장파광보향응.경위중요적시박막적광치퇴화효응원소우전형적비정규박막,재광강위50mW/cm2적서오등광조24h후,광전도적쇠퇴소우10%.저충박막우량적광전성능원우박막중적비정모체적존재사기재광학약천중적동량선택정칙발생송이,인이구유대적광학흡수계수화교고적광민성;상대우전형비정규이언,박막적중정유서도득도료교대적개선,병구유소적심극태밀도;박막중존재적납미척촌적미정과립,제공료광생재류자적복합통도,재비정모체중적전자공혈대가이전이도미정과립중진행복합,저양억제료비정모체중적비복사복합,종이강저료광치아은결함산생적개솔.
