中国计量学院学报
中國計量學院學報
중국계량학원학보
JOURNAL OF CHINA INSTITUTE OF METROLOGY
2004年
4期
294-298
,共5页
干涉技术%波长移相%加权多步算法
榦涉技術%波長移相%加權多步算法
간섭기술%파장이상%가권다보산법
在斐索干涉仪中测量光学平板受到多面反射光束的影响,而波长移相干涉技术是通过光源波长的改变来实现干涉信号的移相,原理上可以实现各个干涉信号的分离,在算法上要求能对多次谐波进行较好的抑制,加权多步移相算法可以实现这样的目的.笔者提出了加权多步移相算法的改进算法,可以提高算法对误差的抑制能力,最后用实验验证了改进算法的有效性.
在斐索榦涉儀中測量光學平闆受到多麵反射光束的影響,而波長移相榦涉技術是通過光源波長的改變來實現榦涉信號的移相,原理上可以實現各箇榦涉信號的分離,在算法上要求能對多次諧波進行較好的抑製,加權多步移相算法可以實現這樣的目的.筆者提齣瞭加權多步移相算法的改進算法,可以提高算法對誤差的抑製能力,最後用實驗驗證瞭改進算法的有效性.
재비색간섭의중측량광학평판수도다면반사광속적영향,이파장이상간섭기술시통과광원파장적개변래실현간섭신호적이상,원리상가이실현각개간섭신호적분리,재산법상요구능대다차해파진행교호적억제,가권다보이상산법가이실현저양적목적.필자제출료가권다보이상산법적개진산법,가이제고산법대오차적억제능력,최후용실험험증료개진산법적유효성.
