光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2004年
5期
619-622
,共4页
李新南%袁吕军%刘星涛%夏自立
李新南%袁呂軍%劉星濤%夏自立
리신남%원려군%류성도%하자립
大口径强光力非球面%轻量化反射镜%光学加工%光学检测
大口徑彊光力非毬麵%輕量化反射鏡%光學加工%光學檢測
대구경강광력비구면%경양화반사경%광학가공%광학검측
介绍了一块Φ520mm大相对孔径(F/1.6)轻量化椭球面反射镜的加工与检测方法.镜面的有效口径为Φ502mm,顶点曲率半径为1600mm,非球面系数k=-0.9663,面形精度要求优于0.025λ(RMS).镜子背面有54个大小深浅不一的不通孔,用于减轻镜子的重量.采用WYKO干涉仪检测得到镜面面形误差达RMS0.02λ,λ=632.8nm.
介紹瞭一塊Φ520mm大相對孔徑(F/1.6)輕量化橢毬麵反射鏡的加工與檢測方法.鏡麵的有效口徑為Φ502mm,頂點麯率半徑為1600mm,非毬麵繫數k=-0.9663,麵形精度要求優于0.025λ(RMS).鏡子揹麵有54箇大小深淺不一的不通孔,用于減輕鏡子的重量.採用WYKO榦涉儀檢測得到鏡麵麵形誤差達RMS0.02λ,λ=632.8nm.
개소료일괴Φ520mm대상대공경(F/1.6)경양화타구면반사경적가공여검측방법.경면적유효구경위Φ502mm,정점곡솔반경위1600mm,비구면계수k=-0.9663,면형정도요구우우0.025λ(RMS).경자배면유54개대소심천불일적불통공,용우감경경자적중량.채용WYKO간섭의검측득도경면면형오차체RMS0.02λ,λ=632.8nm.
