现代雷达
現代雷達
현대뢰체
MODERN RADAR
2007年
6期
91-93
,共3页
电磁干扰滤波器%射频集成电路%超微细加工技术
電磁榦擾濾波器%射頻集成電路%超微細加工技術
전자간우려파기%사빈집성전로%초미세가공기술
提出一种基于集成电路超微细加工技术制造电磁干扰滤波器的薄膜集成制造新技术.该技术主要是利用现有等平面超大规模集成电路工艺完成电磁线圈的制造,使之符合现有射频集成电路制造工艺.该技术将满足射频电子系统对轻型化、小型化、单片化的应用要求.
提齣一種基于集成電路超微細加工技術製造電磁榦擾濾波器的薄膜集成製造新技術.該技術主要是利用現有等平麵超大規模集成電路工藝完成電磁線圈的製造,使之符閤現有射頻集成電路製造工藝.該技術將滿足射頻電子繫統對輕型化、小型化、單片化的應用要求.
제출일충기우집성전로초미세가공기술제조전자간우려파기적박막집성제조신기술.해기술주요시이용현유등평면초대규모집성전로공예완성전자선권적제조,사지부합현유사빈집성전로제조공예.해기술장만족사빈전자계통대경형화、소형화、단편화적응용요구.
