功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
1期
79-82
,共4页
ZnO%c轴取向%微观结构%电阻率
ZnO%c軸取嚮%微觀結構%電阻率
ZnO%c축취향%미관결구%전조솔
采用直流磁控溅射法沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜等手段对薄膜的晶体结构和微观相貌进行了分析,并对薄膜的电学性能进行了考察.结果表明:所制备薄膜沿c轴高度择优,并具有较高的电阻率;ZnO薄膜的沉积速率和c轴择优度是由O2/Ar气体比例和衬底共同决定的;Au衬底上的ZnO薄膜以三维生长为主,在Al和Si衬底上出现了不同程度的薄膜二维生长;电阻率随O2/Ar气体比例的提高逐渐增加,Si衬底上薄膜的电阻率高于Al和Au衬底上的.
採用直流磁控濺射法沉積瞭ZnO薄膜,以X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)、原子力顯微鏡等手段對薄膜的晶體結構和微觀相貌進行瞭分析,併對薄膜的電學性能進行瞭攷察.結果錶明:所製備薄膜沿c軸高度擇優,併具有較高的電阻率;ZnO薄膜的沉積速率和c軸擇優度是由O2/Ar氣體比例和襯底共同決定的;Au襯底上的ZnO薄膜以三維生長為主,在Al和Si襯底上齣現瞭不同程度的薄膜二維生長;電阻率隨O2/Ar氣體比例的提高逐漸增加,Si襯底上薄膜的電阻率高于Al和Au襯底上的.
채용직류자공천사법침적료ZnO박막,이X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)、원자력현미경등수단대박막적정체결구화미관상모진행료분석,병대박막적전학성능진행료고찰.결과표명:소제비박막연c축고도택우,병구유교고적전조솔;ZnO박막적침적속솔화c축택우도시유O2/Ar기체비례화츤저공동결정적;Au츤저상적ZnO박막이삼유생장위주,재Al화Si츤저상출현료불동정도적박막이유생장;전조솔수O2/Ar기체비례적제고축점증가,Si츤저상박막적전조솔고우Al화Au츤저상적.
