传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
6期
903-907
,共5页
彭婧%张顺平%李华曜%谢长生
彭婧%張順平%李華曜%謝長生
팽청%장순평%리화요%사장생
传感器阵列%温度选择%阵列优化%特征选择
傳感器陣列%溫度選擇%陣列優化%特徵選擇
전감기진렬%온도선택%진렬우화%특정선택
通过对金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器阵列进行阵列优化和工作温度的选择,达到提高阵列选择性、降低其功耗的目的.实验采用10个MOS传感器组成阵列,在不同加热电压下,对不同浓度的苯、甲苯、甲醇、乙醇进行测试;利用四种特征选择方法进行阵列优化,同时对优化后的特征子集做Fisher线性判别(DFA)分析.结果表明,优化的阵列在比通用加热电压(5.0V)低的加热电压(4.4V)下工作,对四种物质的正确识别率由91.7%提高到100%.
通過對金屬氧化物半導體(MOS)氣敏傳感器陣列進行陣列優化和工作溫度的選擇,達到提高陣列選擇性、降低其功耗的目的.實驗採用10箇MOS傳感器組成陣列,在不同加熱電壓下,對不同濃度的苯、甲苯、甲醇、乙醇進行測試;利用四種特徵選擇方法進行陣列優化,同時對優化後的特徵子集做Fisher線性判彆(DFA)分析.結果錶明,優化的陣列在比通用加熱電壓(5.0V)低的加熱電壓(4.4V)下工作,對四種物質的正確識彆率由91.7%提高到100%.
통과대금속양화물반도체(MOS)기민전감기진렬진행진렬우화화공작온도적선택,체도제고진렬선택성、강저기공모적목적.실험채용10개MOS전감기조성진렬,재불동가열전압하,대불동농도적분、갑분、갑순、을순진행측시;이용사충특정선택방법진행진렬우화,동시대우화후적특정자집주Fisher선성판별(DFA)분석.결과표명,우화적진렬재비통용가열전압(5.0V)저적가열전압(4.4V)하공작,대사충물질적정학식별솔유91.7%제고도100%.