光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2008年
3期
341-343
,共3页
薄膜光学%极紫外%多层膜%非周期%离子束溅射%同步辐射
薄膜光學%極紫外%多層膜%非週期%離子束濺射%同步輻射
박막광학%겁자외%다층막%비주기%리자속천사%동보복사
介绍了一种用于太阳观测19.5nm极紫外多层膜的研究工作.利用软件对规整的Mo/Si膜系结构进行了优化,拓宽了反射带宽,提高了积分反射率.采用双离子束溅射技术,时间控厚,成功制备了该反射镜.通过同步辐射反射率计测试表明,峰值反射率27.5%,均匀性在1%以内,已初步达到预设要求.
介紹瞭一種用于太暘觀測19.5nm極紫外多層膜的研究工作.利用軟件對規整的Mo/Si膜繫結構進行瞭優化,拓寬瞭反射帶寬,提高瞭積分反射率.採用雙離子束濺射技術,時間控厚,成功製備瞭該反射鏡.通過同步輻射反射率計測試錶明,峰值反射率27.5%,均勻性在1%以內,已初步達到預設要求.
개소료일충용우태양관측19.5nm겁자외다층막적연구공작.이용연건대규정적Mo/Si막계결구진행료우화,탁관료반사대관,제고료적분반사솔.채용쌍리자속천사기술,시간공후,성공제비료해반사경.통과동보복사반사솔계측시표명,봉치반사솔27.5%,균균성재1%이내,이초보체도예설요구.
