功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
2期
226-229
,共4页
聂朝胤%安藤彰朗%卢春灿%廖兵
聶朝胤%安籐彰朗%盧春燦%廖兵
섭조윤%안등창랑%로춘찬%료병
非平衡磁控溅射%Ti掺杂类金刚石薄膜%Ti应力缓和层%显微硬度%附着力
非平衡磁控濺射%Ti摻雜類金剛石薄膜%Ti應力緩和層%顯微硬度%附著力
비평형자공천사%Ti참잡류금강석박막%Ti응력완화층%현미경도%부착력
研究了Ti掺杂对磁控溅射类金刚石(DLC)薄膜附着力及硬度的影响,同时在Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜的基础上,通过引入Ti应力缓和层制备了Ti/Ti-DLC/Ti/Ti-DLC……软硬交替多层薄膜,研究了Ti应力缓和层对进一步提高薄膜附着力特性的作用.采用纳米划痕仪和显微硬度计分析测试了薄膜的附着力和硬度.研究表明,金属Ti的掺杂有利于DLC薄膜附着力特性的改善,但对硬度有一定的影响.Ti应力缓和层的导入进一步改善了Ti-DLC薄膜的附着力特性,使其达到或超过了TiN薄膜的水平,对于附着力的改善Ti应力缓和层存在最佳的厚度值.采用特殊的变周期多层结构设计即在应力集中的膜基界面附近采用较小的调制周期,薄膜项层附近采用较大的调制周期不但可以保持足够的附着力,还可维持Ti-DLC薄膜原有的硬度.
研究瞭Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)薄膜附著力及硬度的影響,同時在Ti摻雜類金剛石(Ti-DLC)薄膜的基礎上,通過引入Ti應力緩和層製備瞭Ti/Ti-DLC/Ti/Ti-DLC……軟硬交替多層薄膜,研究瞭Ti應力緩和層對進一步提高薄膜附著力特性的作用.採用納米劃痕儀和顯微硬度計分析測試瞭薄膜的附著力和硬度.研究錶明,金屬Ti的摻雜有利于DLC薄膜附著力特性的改善,但對硬度有一定的影響.Ti應力緩和層的導入進一步改善瞭Ti-DLC薄膜的附著力特性,使其達到或超過瞭TiN薄膜的水平,對于附著力的改善Ti應力緩和層存在最佳的厚度值.採用特殊的變週期多層結構設計即在應力集中的膜基界麵附近採用較小的調製週期,薄膜項層附近採用較大的調製週期不但可以保持足夠的附著力,還可維持Ti-DLC薄膜原有的硬度.
연구료Ti참잡대자공천사류금강석(DLC)박막부착력급경도적영향,동시재Ti참잡류금강석(Ti-DLC)박막적기출상,통과인입Ti응력완화층제비료Ti/Ti-DLC/Ti/Ti-DLC……연경교체다층박막,연구료Ti응력완화층대진일보제고박막부착력특성적작용.채용납미화흔의화현미경도계분석측시료박막적부착력화경도.연구표명,금속Ti적참잡유리우DLC박막부착력특성적개선,단대경도유일정적영향.Ti응력완화층적도입진일보개선료Ti-DLC박막적부착력특성,사기체도혹초과료TiN박막적수평,대우부착력적개선Ti응력완화층존재최가적후도치.채용특수적변주기다층결구설계즉재응력집중적막기계면부근채용교소적조제주기,박막항층부근채용교대적조제주기불단가이보지족구적부착력,환가유지Ti-DLC박막원유적경도.
