航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2011年
3期
40-43
,共4页
MEMS%亲水性%接触角%低温硅-硅键合
MEMS%親水性%接觸角%低溫硅-硅鍵閤
MEMS%친수성%접촉각%저온규-규건합
对硅片进行了不同条件及方式的清洗预处理,使硅片表面获得不同程度的亲水性,利用硅片表面的接触角等研究比较了不同清洗方式对硅片亲水性的影响,并采用红外透视仪及拉伸测试法对键合质量测试比较.试验结果表明RCAl的清洗处理对硅片表面亲水性提高程度较大,等离子体处理能够大幅提高硅片亲水性但要严格控制处理时长,试验结果为实现低温退火条件下的硅-硅直接键合提供了依据.
對硅片進行瞭不同條件及方式的清洗預處理,使硅片錶麵穫得不同程度的親水性,利用硅片錶麵的接觸角等研究比較瞭不同清洗方式對硅片親水性的影響,併採用紅外透視儀及拉伸測試法對鍵閤質量測試比較.試驗結果錶明RCAl的清洗處理對硅片錶麵親水性提高程度較大,等離子體處理能夠大幅提高硅片親水性但要嚴格控製處理時長,試驗結果為實現低溫退火條件下的硅-硅直接鍵閤提供瞭依據.
대규편진행료불동조건급방식적청세예처리,사규편표면획득불동정도적친수성,이용규편표면적접촉각등연구비교료불동청세방식대규편친수성적영향,병채용홍외투시의급랍신측시법대건합질량측시비교.시험결과표명RCAl적청세처리대규편표면친수성제고정도교대,등리자체처리능구대폭제고규편친수성단요엄격공제처리시장,시험결과위실현저온퇴화조건하적규-규직접건합제공료의거.
