传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
10期
1416-1421
,共6页
代刚%李枚%杜连明%何晓平%苏伟%邵贝贝
代剛%李枚%杜連明%何曉平%囌偉%邵貝貝
대강%리매%두련명%하효평%소위%소패패
微加速度计%启动漂移%热分析%热传导
微加速度計%啟動漂移%熱分析%熱傳導
미가속도계%계동표이%열분석%열전도
目前研制的基于体硅工艺的微加速度计存在着启动时间较长,启动漂移量较大的问题,难以满足某些需要快速启动的应用.为了减少微加速度计的启动时间,对微加速度计的启动漂移特性进行了研究.分析了启动过程中微加速度计表芯自身发热,驱动和检测电路的发热的热传导和电路参数漂移的影响,并建立了包括电路的微加速度计有限元模型进行热仿真分析,为了验证分析的结果设计了内嵌热敏电阻的微加速度计,最后通过一系列的实验验证了微加速度计启动漂移主要是由于电路发热热传导和时间漂移共同作用所致.
目前研製的基于體硅工藝的微加速度計存在著啟動時間較長,啟動漂移量較大的問題,難以滿足某些需要快速啟動的應用.為瞭減少微加速度計的啟動時間,對微加速度計的啟動漂移特性進行瞭研究.分析瞭啟動過程中微加速度計錶芯自身髮熱,驅動和檢測電路的髮熱的熱傳導和電路參數漂移的影響,併建立瞭包括電路的微加速度計有限元模型進行熱倣真分析,為瞭驗證分析的結果設計瞭內嵌熱敏電阻的微加速度計,最後通過一繫列的實驗驗證瞭微加速度計啟動漂移主要是由于電路髮熱熱傳導和時間漂移共同作用所緻.
목전연제적기우체규공예적미가속도계존재착계동시간교장,계동표이량교대적문제,난이만족모사수요쾌속계동적응용.위료감소미가속도계적계동시간,대미가속도계적계동표이특성진행료연구.분석료계동과정중미가속도계표심자신발열,구동화검측전로적발열적열전도화전로삼수표이적영향,병건립료포괄전로적미가속도계유한원모형진행열방진분석,위료험증분석적결과설계료내감열민전조적미가속도계,최후통과일계렬적실험험증료미가속도계계동표이주요시유우전로발열열전도화시간표이공동작용소치.
