固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2012年
1期
64-67
,共4页
回兵%徐东%王雨化%陈长鑫%张亚非
迴兵%徐東%王雨化%陳長鑫%張亞非
회병%서동%왕우화%진장흠%장아비
气体湿度传感器%多壁碳纳米管%极化
氣體濕度傳感器%多壁碳納米管%極化
기체습도전감기%다벽탄납미관%겁화
研究了一种新颖的碳纳米管气态离化结构的碳纳米管气体湿度传感器.该传感器具有一对或多对叉指状侧壁电极结构,电极上覆盖一层多壁碳纳米管薄膜,其利用碳纳米管高长径比的尖端电场收敛作用增大局部电场,有效地增强了传感器对气体湿度的敏感性.通过搭建的气体湿度测试平台,对传感器的静态和动态气体湿度特性进行了研究,结果显示传感器对60％以上相对气体湿度表现出了较强的灵敏度.与吸附式等传统气体湿度传感器对比,该气体湿度传感器具有较快的响应速度(约为0.15 s)和回复速度(约为0.6 s),较传统湿度传感器高了一个数量级,能够用于实时并且快速的气体湿度参量标定.
研究瞭一種新穎的碳納米管氣態離化結構的碳納米管氣體濕度傳感器.該傳感器具有一對或多對扠指狀側壁電極結構,電極上覆蓋一層多壁碳納米管薄膜,其利用碳納米管高長徑比的尖耑電場收斂作用增大跼部電場,有效地增彊瞭傳感器對氣體濕度的敏感性.通過搭建的氣體濕度測試平檯,對傳感器的靜態和動態氣體濕度特性進行瞭研究,結果顯示傳感器對60％以上相對氣體濕度錶現齣瞭較彊的靈敏度.與吸附式等傳統氣體濕度傳感器對比,該氣體濕度傳感器具有較快的響應速度(約為0.15 s)和迴複速度(約為0.6 s),較傳統濕度傳感器高瞭一箇數量級,能夠用于實時併且快速的氣體濕度參量標定.
연구료일충신영적탄납미관기태리화결구적탄납미관기체습도전감기.해전감기구유일대혹다대차지상측벽전겁결구,전겁상복개일층다벽탄납미관박막,기이용탄납미관고장경비적첨단전장수렴작용증대국부전장,유효지증강료전감기대기체습도적민감성.통과탑건적기체습도측시평태,대전감기적정태화동태기체습도특성진행료연구,결과현시전감기대60％이상상대기체습도표현출료교강적령민도.여흡부식등전통기체습도전감기대비,해기체습도전감기구유교쾌적향응속도(약위0.15 s)화회복속도(약위0.6 s),교전통습도전감기고료일개수량급,능구용우실시병차쾌속적기체습도삼량표정.
