导航与控制
導航與控製
도항여공제
NAVIGATION AND CONTROL
2011年
4期
16-21
,共6页
微机电系统%硅微加速度计%六自由度%静电悬浮控制
微機電繫統%硅微加速度計%六自由度%靜電懸浮控製
미궤전계통%규미가속도계%륙자유도%정전현부공제
六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的表头结构,依据带宽、量程、刚度等指标要求,经位移检测解耦变换与加力控制耦合变换后,分别设计出六轴稳定悬浮控制器.在地面大气环境下的仿真分析结果表明,阻尼最小的轴向转动超调量为14.2％,六轴控制器的带宽范围为368 ～ 489Hz,轴向/径向平动的静态刚度分别为2.82×105N/m和2×103N/m,轴向/径向转动的静态刚度分别8.8×10-3N·m/rad和9.77×10 -2N@ m/rad；综合指标满足六轴悬浮控制的性能要求.
六軸靜電懸浮的硅微加速度計以其低量程、高分辨率和多軸集成等特點,在微小航天器的無拖抴控製、微重力測量等方麵有著獨特而重要的用途.本文針對外帶梳齒式長方體檢測質量的錶頭結構,依據帶寬、量程、剛度等指標要求,經位移檢測解耦變換與加力控製耦閤變換後,分彆設計齣六軸穩定懸浮控製器.在地麵大氣環境下的倣真分析結果錶明,阻尼最小的軸嚮轉動超調量為14.2％,六軸控製器的帶寬範圍為368 ～ 489Hz,軸嚮/徑嚮平動的靜態剛度分彆為2.82×105N/m和2×103N/m,軸嚮/徑嚮轉動的靜態剛度分彆8.8×10-3N·m/rad和9.77×10 -2N@ m/rad；綜閤指標滿足六軸懸浮控製的性能要求.
륙축정전현부적규미가속도계이기저량정、고분변솔화다축집성등특점,재미소항천기적무타예공제、미중력측량등방면유착독특이중요적용도.본문침대외대소치식장방체검측질량적표두결구,의거대관、량정、강도등지표요구,경위이검측해우변환여가력공제우합변환후,분별설계출륙축은정현부공제기.재지면대기배경하적방진분석결과표명,조니최소적축향전동초조량위14.2％,륙축공제기적대관범위위368 ～ 489Hz,축향/경향평동적정태강도분별위2.82×105N/m화2×103N/m,축향/경향전동적정태강도분별8.8×10-3N·m/rad화9.77×10 -2N@ m/rad；종합지표만족륙축현부공제적성능요구.
