纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2012年
4期
307-312
,共6页
罗彪%温志渝%陈李%钱蓉蓉%梁玉前
囉彪%溫誌渝%陳李%錢蓉蓉%樑玉前
라표%온지투%진리%전용용%량옥전
MOEMS%微镜%角度传感器%误差分析%测试
MOEMS%微鏡%角度傳感器%誤差分析%測試
MOEMS%미경%각도전감기%오차분석%측시
针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析.
針對集成角度傳感器微鏡在實際使用過程中的要求,在分析研究MOEMS掃描微鏡結構與工作原理的基礎上,進行瞭MOEMS掃描微鏡最大偏轉角度、驅動電壓、諧振頻率和傳感器輸齣參數的測試.併且為瞭提高數據的可靠性,利用幾何光學理論和誤差理論的方法對該測試繫統進行瞭詳細分析,以此作為測試的繫統誤差與測試隨機誤差進行瞭誤差閤成.誤差分析錶明,該微鏡在驅動電壓為0.7 V時,最大偏轉角為±8.704 15°,測試誤差為±0.045 605°.此外,還對測試過程中掃描微鏡諧響應頻率隨掃描模式及掃描電壓而變化的現象進行瞭分析.
침대집성각도전감기미경재실제사용과정중적요구,재분석연구MOEMS소묘미경결구여공작원리적기출상,진행료MOEMS소묘미경최대편전각도、구동전압、해진빈솔화전감기수출삼수적측시.병차위료제고수거적가고성,이용궤하광학이론화오차이론적방법대해측시계통진행료상세분석,이차작위측시적계통오차여측시수궤오차진행료오차합성.오차분석표명,해미경재구동전압위0.7 V시,최대편전각위±8.704 15°,측시오차위±0.045 605°.차외,환대측시과정중소묘미경해향응빈솔수소묘모식급소묘전압이변화적현상진행료분석.
