CAJ | 학술논문

采用常压金属有机物化学气相沉积技术(AP-MOCVD),以二乙基锌(DEZn)为Zn源,去离子水(H2O)为氧源,N2作载气,在外延ZnO薄膜的反应气氛中通入少量氢气,在c-Al2O3衬底上生长出了ZnO:H薄膜.用X射线双晶衍射和光致发光谱对ZnO:H薄膜的结晶性能和光学性质进行表征.结果表明,ZnO:H薄膜(002)和(102)面的Ω扫描半峰全宽分别为46.1 mrad和81.4 mrad,表明该薄膜具有良好的结晶性能;室温下,ZnO:H薄膜具有较强的紫外光发射(380 nm),在低温10 K光致发光谱中观测到位于3.3630 eV处与氢相关的中性施主束缚激子峰(I4)及其位于3.331 eV处的双电子卫星峰(TES).采用退火的方法,通过观测I4峰的强度变化,研究了氢在ZnO:H薄膜中的热稳定性.发现随着退火温度的升高,I4峰的强度逐渐减弱,表明在高温下退火,氢会从ZnO薄膜中逸出.
채용상압금속유궤물화학기상침적기술(AP-MOCVD),이이을기자(DEZn)위Zn원,거리자수(H2O)위양원,N2작재기,재외연ZnO박막적반응기분중통입소량경기,재c-Al2O3츤저상생장출료ZnO:H박막.용X사선쌍정연사화광치발광보대ZnO:H박막적결정성능화광학성질진행표정.결과표명,ZnO:H박막(002)화(102)면적Ω소묘반봉전관분별위46.1 mrad화81.4 mrad,표명해박막구유량호적결정성능;실온하,ZnO:H박막구유교강적자외광발사(380 nm),재저온10 K광치발광보중관측도위우3.3630 eV처여경상관적중성시주속박격자봉(I4)급기위우3.331 eV처적쌍전자위성봉(TES).채용퇴화적방법,통과관측I4봉적강도변화,연구료경재ZnO:H박막중적열은정성.발현수착퇴화온도적승고,I4봉적강도축점감약,표명재고온하퇴화,경회종ZnO박막중일출.