强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
1期
142-146
,共5页
薛书文%祖小涛%陈美艳%邓宏%向霞%徐自强
薛書文%祖小濤%陳美豔%鄧宏%嚮霞%徐自彊
설서문%조소도%진미염%산굉%향하%서자강
ZnO薄膜%光致发光%溶胶凝胶%退火%吸收光谱%透射光谱
ZnO薄膜%光緻髮光%溶膠凝膠%退火%吸收光譜%透射光譜
ZnO박막%광치발광%용효응효%퇴화%흡수광보%투사광보
采用溶胶凝胶法在(0001)Al2O3衬底上制备了不同掺杂原子分数的ZnO:Al薄膜,在Ar气氛中进行了600～950 ℃不同温度的退火处理,研究了掺杂原子分数和退火温度对薄膜光致发光、光吸收和透射的影响.结果显示,薄膜的紫外峰强度随掺杂原子分数和退火温度的提高而增强,与缺陷相关的绿光强度却随着掺杂原子分数和退火温度的提高而降低;薄膜光学带隙随掺杂原子分数的提高从3.21 eV增大到3.25 eV;光吸收在可见光区随着退火温度的升高而增大,在紫外区却随着退火温度的升高而减小,透射与吸收的变化规律相反;薄膜吸收边随退火温度的升高出现轻微的红移.
採用溶膠凝膠法在(0001)Al2O3襯底上製備瞭不同摻雜原子分數的ZnO:Al薄膜,在Ar氣氛中進行瞭600～950 ℃不同溫度的退火處理,研究瞭摻雜原子分數和退火溫度對薄膜光緻髮光、光吸收和透射的影響.結果顯示,薄膜的紫外峰彊度隨摻雜原子分數和退火溫度的提高而增彊,與缺陷相關的綠光彊度卻隨著摻雜原子分數和退火溫度的提高而降低;薄膜光學帶隙隨摻雜原子分數的提高從3.21 eV增大到3.25 eV;光吸收在可見光區隨著退火溫度的升高而增大,在紫外區卻隨著退火溫度的升高而減小,透射與吸收的變化規律相反;薄膜吸收邊隨退火溫度的升高齣現輕微的紅移.
채용용효응효법재(0001)Al2O3츤저상제비료불동참잡원자분수적ZnO:Al박막,재Ar기분중진행료600～950 ℃불동온도적퇴화처리,연구료참잡원자분수화퇴화온도대박막광치발광、광흡수화투사적영향.결과현시,박막적자외봉강도수참잡원자분수화퇴화온도적제고이증강,여결함상관적록광강도각수착참잡원자분수화퇴화온도적제고이강저;박막광학대극수참잡원자분수적제고종3.21 eV증대도3.25 eV;광흡수재가견광구수착퇴화온도적승고이증대,재자외구각수착퇴화온도적승고이감소,투사여흡수적변화규률상반;박막흡수변수퇴화온도적승고출현경미적홍이.
